公开(公告)号：CN102732834B

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201210201571.2

申请日：2012-06-18

申请人： 徐明生 ,  陈红征 ,  王秋来 ,  黄文符

发明人： 徐明生 ,  陈红征 ,  王秋来 ,  黄文符

IPC分类号： C23C14/22 ,  C23C16/44 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了一种制备二维纳米薄膜的设备，包括物理气相沉积腔室、进料腔室、化学气相沉积腔室和样品传递装置。腔室之间设有阀门，样品通过样品传递装置可以在各腔室之间传递；化学气相沉积腔室设有加热装置、气体连接口以及样品升降装置；物理气相沉积腔室设有物理气相沉积系统、样品升降装置、气体连接口；进料腔室设有样品处理装置；腔室还设有抽真空装置以及样品旋转装置。本设备结构简单、工作可靠，利用本设备，可以采用不同的技术方法可大面积地制备均匀、高性能的石墨烯、金属硫族化合物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜。

公开(公告)号：CN102732834A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210201571.2

申请日：2012-06-18

申请人： 徐明生 ,  陈红征 ,  王秋来 ,  黄文符

发明人： 徐明生 ,  陈红征 ,  王秋来 ,  黄文符

IPC分类号： C23C14/22 ,  C23C16/44 ,  C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了一种制备二维纳米薄膜的设备，包括物理气相沉积腔室、进料腔室、化学气相沉积腔室和样品传递装置。腔室之间设有阀门，样品通过样品传递装置可以在各腔室之间传递；化学气相沉积腔室设有加热装置、气体连接口以及样品升降装置；物理气相沉积腔室设有物理气相沉积系统、样品升降装置、气体连接口；进料腔室设有样品处理装置；腔室还设有抽真空装置以及样品旋转装置。本设备结构简单、工作可靠，利用本设备，可以采用不同的技术方法可大面积地制备均匀、高性能的石墨烯、金属硫族化合物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜。

公开(公告)号：CN202626285U

公开(公告)日：2012-12-26

申请号：CN201220287247.2

申请日：2012-06-18

申请人： 徐明生 ,  陈红征 ,  王秋来 ,  黄文符

发明人： 徐明生 ,  陈红征 ,  王秋来 ,  黄文符

IPC分类号： C23C14/56 ,  C23C16/54

摘要： 本实用新型公开了一种制备二维纳米薄膜的设备，包括物理气相沉积腔室、进料腔室、化学气相沉积腔室和样品传递装置。腔室之间设有阀门，样品通过样品传递装置可以在各腔室之间传递；化学气相沉积腔室设有加热装置、气体连接口以及样品升降装置；物理气相沉积腔室设有物理气相沉积系统、样品升降装置、气体连接口；进料腔室设有样品处理装置；腔室还设有抽真空装置以及样品旋转装置。本设备结构简单、工作可靠，利用本设备，可以采用不同的技术方法可大面积地制备均匀、高性能的石墨烯、金属硫族化合物、硅烯、锗烯或氮化硼等二维纳米薄膜。