用于调查自由液体表面和布置在其上的层结构的基于镜面反射的测量设备

    公开(公告)号:CN117110251A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310578539.4

    申请日:2023-05-22

    IPC分类号: G01N21/55 G01N21/01

    摘要: 本发明的主题是一种基于镜面反射的测量设备,它用于研究液体样品(8)的表面的特性,该测量设备包括基板(9)、安装在基板上并用于布置液体样品的样品保持器、用于在包含起偏器(2)的起偏器分支(P)中照射样品的表面的光源(1)、用于检测在包含检偏器(5)的检偏器分支(A)中通过镜面反射从样品的表面反射的辐射的检测器(6)、以及与光源、起偏器、检偏器和检测器中的至少一者操作性地连接的控制单元(7),其中,所述起偏器分支和所述检偏器分支限定入射平面(S),并且其中所述基板由减振装置支承。根据本发明,基板与减振装置在至少三个点处彼此接触,所述至少三个点不在同一条直线上,所述减振装置配备有调平控制器。

    用于确定样品的薄层电阻的装置和方法

    公开(公告)号:CN117590080A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202311018815.8

    申请日:2023-08-14

    IPC分类号: G01R27/08 G01R1/30

    摘要: 本发明的主题是用于确定样品的薄层电阻的装置和方法。该装置包括测量头,该测量头包括至少一个其光施加到样品(S)的表面的光源(2)和至少两个电位传感器(3)。该装置还包括与电位传感器信号通信连接的放大器(4),以及与放大器数据通信连接的处理单元(6),该处理单元适于基于电位传感器的差值信号来确定薄层电阻。该装置的特征在于,放大器适于产生至少两个电位传感器的差值信号并将其放大。根据本发明的方法,以至少一个点照射待检查样本,通过至少两个电位传感器在至少两个位置测量在所照射的点附近由于照射而产生的电位,然后使用预定函数根据所测量的电位计算薄层电阻。该方法的本质在于在确定薄层电阻前确定并放大电位差。

    用于半导体样品的光致发光成像方法和设备

    公开(公告)号:CN118533837A

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202410197299.8

    申请日:2024-02-22

    摘要: 本发明公开了一种用于样品的光致发光成像的方法和设备。该设备包括用于保持所述样品的样品架、用于发射第一光束的第一光源、第一对称扩束器、用于将第一光束成形并聚焦为样品的表面上的线的光束成形光学元件、第一相机、以及用于将第一光束引导到物镜上的第一成像二向色光学元件。用于样品的光致发光成像的方法包括以下步骤:在样品架上提供样品,产生第一光束,扩展所述第一光束,使第一光束成形为第一线,将第一光束聚焦到样品表面上的检测位置上,从而照射所述检测位置,在像素行上捕获响应于第一光束的所述照射而由样品发射的光致发光,以及用所述第一线基本上扫描所述样品的整个表面。