可调微机电标准具
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107850771B

    公开(公告)日:2020-08-28

    申请号:CN201680041460.6

    申请日:2016-07-14

    Abstract: 本文公开了一新颖的可调微机电(MEMS)标准具系统,包括:一功能层,被设计有一悬浮第一镜的悬浮结构,第一镜为标准具的孔镜,一孔镜,被结合至所述悬浮结构;以及一背面层,包括一第二镜,所述第二镜为所述标准具的后镜。所述功能层位于所述背面层的上方,且所述背面层可包括包括间隔结构,所述间隔结构从所述背面层朝着孔镜延伸,以在所述孔镜和所述后镜之间定义有一最小间隙,来避免孔镜和后镜之间的碰撞。所述标准具/镜子的宽度间的纵横比可以高的(如至少500),且镜子间的间隙/距离可以为小的,约为十几纳米(nm)。相应地,在一些实施方式中,孔镜和后镜之间的平行度可调节的,来避免与在标准具的光谱透射轮廓内的空间分异有关的像差。

    光谱成像方法和系统
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108291800B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201680043412.0

    申请日:2016-07-28

    Abstract: 本发明公开了一种用于重建对象的光谱数据的高光谱成像系统和方法。该系统包括:检测器的像素矩阵;像素矩阵前方的可调色散单元;和控制系统。该控制系统包括:控制器,所述控制器用于在n个图像采集过程调谐色散单元以提供色散单元的n个不同的、部分重叠的光谱透射轮廓;以及控制单元,所述控制单元与检测器进行数据通信、并配置为和可操作用于分别处理由n个图像采集过程中的像素矩阵生成的n个图像数据块,每个图像数据块指示由像素矩阵检测的光谱图像,并且对应于色散单元的不同光谱透射轮廓,所述控制单元并确定对象的重建光谱数据。

    光谱成像方法和系统
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108291800A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201680043412.0

    申请日:2016-07-28

    CPC classification number: G01J3/2823 G01J3/0264 G01J3/26 G01J3/502 G06F19/00

    Abstract: 本发明公开了一种用于重建对象的光谱数据的高光谱成像系统和方法。该系统包括:检测器的像素矩阵;像素矩阵前方的可调色散单元;和控制系统。该控制系统包括:控制器,所述控制器用于在n个图像采集过程调谐色散单元以提供色散单元的n个不同的、部分重叠的光谱透射轮廓;以及控制单元,所述控制单元与检测器进行数据通信、并配置为和可操作用于分别处理由n个图像采集过程中的像素矩阵生成的n个图像数据块,每个图像数据块指示由像素矩阵检测的光谱图像,并且对应于色散单元的不同光谱透射轮廓,所述控制单元并确定对象的重建光谱数据。

    可调微机电标准具
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107850771A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680041460.6

    申请日:2016-07-14

    Abstract: 本文公开了一新颖的可调微机电(MEMS)标准具系统,包括:一功能层,被设计有一悬浮第一镜的悬浮结构,第一镜为标准具的孔镜,一孔镜,被结合至所述悬浮结构;以及一背面层,包括一第二镜,所述第二镜为所述标准具的后镜。所述功能层位于所述背面层的上方,且所述背面层可包括间隔结构,所述间隔结构从所述背面层朝着孔镜延伸,以在所述孔镜和所述后镜之间定义有一最小间隙,来避免孔镜和后镜之间的碰撞。所述标准具/镜子的宽度间的纵横比可以高的(如至少500),且镜子间的间隙/距离可以为小的,约为十几纳米(nm)。相应地,在一些实施方式中,孔镜和后镜之间的平行度可调节的,来避免与在标准具的光谱透射轮廓内的空间分异有关的像差。

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