公开(公告)号：CN102308358B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN200980156263.9

申请日：2009-12-08

申请人： 通用等离子公司

发明人： 约翰·马多克斯

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/143 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32862 ,  H01J37/3405 ,  H01J2237/081

摘要： 本发明提供了一种用于改性基材表面的方法，包括向闭合漂移离子源的电隔离阳极提供电子。阳极具有正的阳极电荷偏移，而闭合漂移离子源的其它组件接地或具有电气浮动电压。电子接触诱导离子形成的闭合漂移磁场。在气体存在下通过将电极电荷偏移调整为负，邻近阳极产生等离子以清除阳极上的沉积污染物，从而防止阳极污染。然后在重复电子源存在的情况下，电极电荷漂移回复至正，以诱导重复的离子形成用以再次改性基材表面。还提供了一种用于通过该方法在基材表面改性的装置。

公开(公告)号：CN102308358A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200980156263.9

申请日：2009-12-08

申请人： 通用等离子公司

发明人： 约翰·马多克斯

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/143 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32862 ,  H01J37/3405 ,  H01J2237/081

摘要： 本发明提供了一种用于改性基材表面的方法，包括向闭合漂移磁场离子源的电隔离阳极提供电子。阳极具有正的阳极电荷偏移，而闭合漂移离子源的其它组件接地或具有电气浮动电压。电子接触诱导离子形成的闭合漂移磁场。在气体存在下通过将电极电荷偏移调整为负，邻近阳极产生等离子以清除阳极上的沉积污染物，从而防止阳极污染。然后在重复电子源存在的情况下，电极电荷漂移回复至正，以诱导重复的离子形成用以再次改性基材表面。还提供了一种用于通过该方法在基材表面改性的装置。