公开(公告)号：CN109166780A

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201811133963.3

申请日：2018-09-27

申请人： 中山市博顿光电科技有限公司

发明人： 刘伟基

IPC分类号： H01J27/14

CPC分类号： H01J27/143

摘要： 本发明提供一种条形霍尔离子源，包括条形的壳体，设置在所述壳体一端的中空阴极，中空阴极的阴极口位于壳体上端开口的上方；设置在所述壳体内的与所述中空阴极相对应的阳极，阳极上方设置有与壳体上端开口对应的阳极口；设置阳极下端的冷却机构和工艺气输气机构；以及设置在壳体内并位于冷却底板下端的多个磁铁。本发明结构简单，设计合理，通过使用中空阴极管实现无灯丝结构，进一步提高了阴极的使用寿命，功率大大提高，另外，通过将离子源设置为条形，大大提高了覆盖面积，更加适合连续生产线的使用，并且通过设置多路工艺气体供气管道，以及通过准确各路的供气量，保证离子束的均匀分布。

公开(公告)号：CN1209036A

公开(公告)日：1999-02-24

申请号：CN98108949.6

申请日：1998-05-22

申请人： 航空发动机的结构和研究公司

发明人： 利奥尼德·A·拉季谢夫 ,  艾哈迈德·M·亚格波夫 ,  艾达尔·B·雅库博夫 ,  谢尔盖耶·A·哈尔托夫 ,  多米尼克·瓦连京

IPC分类号： H05H1/00 ,  H05H11/00

CPC分类号： F03H1/0075 ,  H01J27/143 ,  H05H1/54

摘要： 一种具有闭合电子漂移和包括一个环形电离和加速通道(1)的等离子体推进器的离子束集中器,包括附加周边磁路(60;80),将扩口磁极(63)的下游端连接到周边磁极(3)上,扩口磁极(63)与附加周边磁路(60;80)以及与周边和中央磁极(3,4)相配合,限定环形通道(1)下游磁场的形状,强制由环形通道(1)发射的离子束留在一个基本锥形的区域内。

公开(公告)号：CN102308358B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN200980156263.9

申请日：2009-12-08

申请人： 通用等离子公司

发明人： 约翰·马多克斯

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/143 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32862 ,  H01J37/3405 ,  H01J2237/081

摘要： 本发明提供了一种用于改性基材表面的方法，包括向闭合漂移离子源的电隔离阳极提供电子。阳极具有正的阳极电荷偏移，而闭合漂移离子源的其它组件接地或具有电气浮动电压。电子接触诱导离子形成的闭合漂移磁场。在气体存在下通过将电极电荷偏移调整为负，邻近阳极产生等离子以清除阳极上的沉积污染物，从而防止阳极污染。然后在重复电子源存在的情况下，电极电荷漂移回复至正，以诱导重复的离子形成用以再次改性基材表面。还提供了一种用于通过该方法在基材表面改性的装置。

公开(公告)号：CN102439305A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201080021990.7

申请日：2010-05-19

申请人： 斯奈克码 ,  波兰科学院基础技术研究所 ,  法国国家太空研究中心 ,  国家科学研究中心

发明人： 塞奇·巴拉尔 ,  史蒂芬J.·泽巴奇

IPC分类号： F03H1/00

CPC分类号： F03H1/0075 ,  F03H1/0062 ,  H01J27/143 ,  H05H1/54

摘要： 一种霍尔效应等离子推进器，包括用于电离和加速的带有下游开口端(129)的主环形通道(120)、至少一个阴极(140)、与所述主环形通道(120)同轴的环形阳极(125)、用于将电离气体输入所述通道(120)的管(126)与集合管和用于在所述主环形通道(120)中产生磁场的磁路(131到136)，所述主环形通道(120)具有位于所述开口端(129)临近区域的内环壁部分(127)和外环壁部分(128)，该每个环壁部分均包括以层压形式形成的并置的导体或半导体环(150)，所述导体或半导体环通过绝缘细层(152)隔开。

公开(公告)号：CN102308358A

公开(公告)日：2012-01-04

申请号：CN200980156263.9

申请日：2009-12-08

申请人： 通用等离子公司

发明人： 约翰·马多克斯

IPC分类号： H01J37/317 ,  H01J37/08

CPC分类号： H01J37/08 ,  H01J27/143 ,  H01J37/3053 ,  H01J37/317 ,  H01J37/32862 ,  H01J37/3405 ,  H01J2237/081

摘要： 本发明提供了一种用于改性基材表面的方法，包括向闭合漂移磁场离子源的电隔离阳极提供电子。阳极具有正的阳极电荷偏移，而闭合漂移离子源的其它组件接地或具有电气浮动电压。电子接触诱导离子形成的闭合漂移磁场。在气体存在下通过将电极电荷偏移调整为负，邻近阳极产生等离子以清除阳极上的沉积污染物，从而防止阳极污染。然后在重复电子源存在的情况下，电极电荷漂移回复至正，以诱导重复的离子形成用以再次改性基材表面。还提供了一种用于通过该方法在基材表面改性的装置。

公开(公告)号：CN201409253Y

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：CN200920152392.8

申请日：2009-05-05

申请人： 核工业西南物理研究院

发明人： 韩大凯 ,  童洪辉 ,  戴彬 ,  刘晓波 ,  饶敏 ,  赵军 ,  徐丽云 ,  王军生

IPC分类号： H05H1/46

CPC分类号： H01J27/143 ,  H01J37/08 ,  H01J2237/31

摘要： 本实用新型属于离子束，具体涉及一种适用于离子束清洗和离子束刻蚀的阳极层线性离子源。它包括阴极底板，阴极底板上固定有阴极框，阴极框的顶部固定有阴极外顶板和阴极内顶板，所述的阴极外顶板与阴极内顶板之间设有一开口，阴极内顶板与阴极底板之间设有磁钢，在磁钢的两侧分别设有水冷阳极。本实用新型的优点是，在环形阳极和放电槽置通过绝缘紧固件把阳极悬浮屏蔽罩与阴极和阳极绝缘开。由于悬浮电位的存在，能有效的减少在放电槽内的有害放电。在放电槽内磁钢两侧增加挡板，减少放电对磁钢的损害，消除了磁钢退磁的隐患。