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公开(公告)号：CN116300305A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202111564301.3
申请日：2021-12-20
申请人： 陈啓仲
发明人： 陈啓仲
IPC分类号： G03F1/66
摘要： 一种基于微影用途的光罩保持容器，其供收纳限制一光罩，而该光罩保持容器包含有一第一视窗组及一第二视窗组，该第一、二视窗组分设于该光罩保持容器中相对光罩两个侧表面的侧面，且该第一、二视窗组分别具有一透明石英板，而该多个透明石英板的透光率大于或等于90％，又其中该第一、二视窗组的可视范围大于或等于该光罩的电路图案，以此，当该光罩收纳限制于该光罩保持容器后，能够于一微影设备内通过一微影光束由第一视窗组或二视窗组外部射入、且经该光罩后再由相对的第二视窗组或第一视窗组射出，使该微影光束投射通过光罩的电路图案转印至该工作载台的晶圆表面，且该光罩保持容器能够于一视觉检测设备内同步检知该光罩上、下表面的污染物。
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公开(公告)号：CN116300307A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202111564258.0
申请日：2021-12-20
申请人： 陈啓仲
发明人： 陈啓仲
摘要： 本发明公开一种光罩检测方法及透明光罩保持容器，其包含有使用一透明光罩保持容器收纳一光罩，将上述透明光罩保持容器移入一视觉检测设备中，由透明光罩外部提供上述光罩两个侧表面一光源，使用上述视觉检测设备由上述透明光罩保持容器外部检视上述光罩两个侧表面，以及使上述视觉检测设备显示出上述光罩两个侧表面的特定污染物，以此，让光罩能在被保护于透明光罩保持容器内部时进行污染物检测，而提高对于光罩的保护需求，以降低检测中因提取光罩所造成的意外污染。
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公开(公告)号：CN116300296A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202111563239.6
申请日：2021-12-20
申请人： 陈啓仲
发明人： 陈啓仲
摘要： 本发明公开一种微影方法，其包含有使用一透明光罩保持容器收纳一包含一电路图案的光罩，将上述透明光罩保持容器移入一微影设备中，令上述微影设备产生一特定波长的辐射光束穿入上述透明光罩保持容器投射于上述光罩的电路图案上，以及使通过上述光罩的辐射光束穿出上述透明光罩保持容器将电路图案投影转印至一晶圆的表面，而完成光罩的电路图案转印至晶圆表面的微影制程，以此，让光罩能在被保护于透明光罩保持容器内部时进行微影制程，而提高对光罩的保护，以降低微影制程中因提取光罩所造成的意外污染。
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公开(公告)号：CN217279258U
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202123212620.6
申请日：2021-12-20
申请人： 陈啓仲
发明人： 陈啓仲
IPC分类号： G03F1/66
摘要： 一种基于微影用途的光罩保持容器，其供收纳限制一光罩，而该光罩保持容器包含有一第一视窗组及一第二视窗组，该第一、二视窗组分设于该光罩保持容器中相对光罩两个侧表面的侧面，且该第一、二视窗组分别具有一透明石英板，而该多个透明石英板的透光率大于或等于90％，又其中该第一、二视窗组的可视范围大于或等于该光罩的电路图案，以此，当该光罩收纳限制于该光罩保持容器后，能够于一微影设备内通过一微影光束由第一视窗组或二视窗组外部射入、且经该光罩后再由相对的第二视窗组或第一视窗组射出，使该微影光束投射通过光罩的电路图案转印至该工作载台的晶圆表面，且该光罩保持容器能够于一视觉检测设备内同步检知该光罩上、下表面的污染物。
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