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公开(公告)号:CN102947683B
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201180021250.8
申请日:2011-04-26
CPC分类号: G01J5/02 , G01J5/16 , G01J2005/106 , G01K7/01 , H01L35/08
摘要: 目的在于提供一种不增加内部电阻r、而热电偶数量增加的高输出高S/N的热电堆、高灵敏度辐射温度计,还进一步提供一种有机材料薄膜的制造方法、以及均匀的、廉价的、高灵敏度的多层薄膜热电堆和高灵敏度辐射温度计及其制造方法。将在与基板热分离的薄膜上形成的热电堆设置在温度感应部的温度传感器中,所述薄膜为多层薄膜,在其各层薄膜中,形成层热电堆,所述层热电堆用作为基板热沉以形成诸如热电堆基准温度的一个接点。另外,各层热电堆串联连接形成组合热电堆,该串联连接设计成输出大的结构。将该组合热电堆作为温度传感器使用,制成辐射温度计。
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公开(公告)号:CN102947683A
公开(公告)日:2013-02-27
申请号:CN201180021250.8
申请日:2011-04-26
CPC分类号: G01J5/02 , G01J5/16 , G01J2005/106 , G01K7/01 , H01L35/08
摘要: 本发明目的在于提供一种不增加内部电阻r、而热电偶数量增加的高输出高S/N的热电堆、高灵敏度辐射温度计,还进一步提供一种有机材料薄膜的制造方法、以及均匀的、廉价的、高灵敏度的多层薄膜热电堆和高灵敏度辐射温度计及其制造方法。将在与基板热分离的薄膜上形成的热电堆设置在温度感应部的温度传感器中,所述薄膜为多层薄膜,在其各层薄膜中,形成层热电堆,所述层热电堆用作为基板热沉以形成诸如热电堆基准温度的一个接点。另外,各层热电堆串联连接形成组合热电堆,该串联连接设计成输出大的结构。将该组合热电堆作为温度传感器使用,制成辐射温度计。
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