一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116481653A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310310400.1

    申请日:2023-03-24

    摘要: 本发明公开了一种MEMS热电堆红外探测器及其制备方法,该MEMS热电堆红外探测器,包括:衬底;第一红外吸收层,位于衬底上;热电堆,位于第一红外吸收层上,包括围绕第一红外吸收层的中心区域排列的热偶条,热偶条靠近第一红外吸收层中心区域的一端为热端,远离第一红外吸收层中心区域的一端为冷端;第一反射层,位于第一红外吸收层上,在热偶条冷端的外围围绕热电堆;以及钝化层,覆盖热电堆和第一反射层。本申请在热偶条冷端的外围设置第一反射层,以对热偶条冷端周围的红外辐射进行反射,降低热偶条冷端的热吸收,提高热偶条冷端和热端之间的温差,进而提高MEMS热电堆红外探测器的灵敏度。

    一种传感器及其制作方法和测试方法、测试装置

    公开(公告)号:CN112050949B

    公开(公告)日:2022-03-15

    申请号:CN202010955216.9

    申请日:2020-09-11

    摘要: 本发明提供了一种传感器及其制作方法和测试方法、测试装置,涉及传感器技术领域,目的是提供一种新型的传感器。传感器包括:衬底和位于衬底之上的至少一个红外测温单元;红外测温子单元包括:第一支撑部、至少一个第二支撑部、热电偶和红外吸收部;其中,热电偶包括第一电极和第二电极,第一电极和第二电极分别包括第一端和第二端;第一电极的第一端和第二电极的第一端相连、且位于第一支撑部之上;红外吸收部位于第一支撑部之上且覆盖第一电极的第一端和第二电极的第一端;第一电极的第二端和第二电极的第二端不相连、且位于第二支撑部之上;红外测温单元中,至少相邻的第一支撑部和第二支撑部之间包括空腔结构。本发明适用于传感器的制作。

    一种红外热电堆阵列环境温度补偿方法及相关组件

    公开(公告)号:CN113588099A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202110866136.0

    申请日:2021-07-29

    发明人: 吕梦姣

    IPC分类号: G01J5/16 G01J5/06 G01J5/00

    摘要: 本申请公开了一种红外热电堆阵列环境温度补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法包括:获取红外热电堆阵列在多个不同外部环境温度下对测量者进行红外测温,得到的每个所述测量者对应的温度测量值,并获取所述红外热电堆阵列在所述外部环境温度下对应的内部温度;根据所述温度测量值和对应的所述测量者的实际温度值,得到不同所述内部温度下所述红外热电堆阵列的温度测量差值;根据所述内部温度和每个所述内部温度对应的温度测量差值,拟合得到温度补偿函数;获取所述热电堆阵列采集的待测温者的初始测量值以及当前内部温度,根据所述当前内部温度并利用所述温度补偿函数对所述初始测量值进行补偿。提高了环境温度补偿的准确性以及补偿的便捷性。

    一种测温方法、装置、终端设备及存储介质

    公开(公告)号:CN113418611A

    公开(公告)日:2021-09-21

    申请号:CN202110630305.0

    申请日:2021-06-07

    IPC分类号: G01J5/00 G01J5/16 G01J5/22

    摘要: 本申请适用于温度测量技术领域,提供了一种测温方法、装置、终端设备及存储介质。本申请实施例中通过第一测温器件获取人体手腕温度,根据上述人体手腕温度确定第一人体温度;当监测到上述第一人体温度不处于预设温度范围内时,通过上述第一测温器件获取人体耳道温度,根据上述人体耳道温度确定第二人体温度,从而在长时间对人体体温进行监测的情况下,出现异常状况时准确得到人体温度。

    一种一体化手术室测温系统

    公开(公告)号:CN111504478B

    公开(公告)日:2021-02-12

    申请号:CN202010412549.7

    申请日:2020-05-15

    发明人: 谢空成

    IPC分类号: G01J5/12 G01J5/16 G06N3/08

    摘要: 本发明公开了一种一体化手术室测温系统,包括中心控制单元、红外检测单元、信号放大单元、误差调节单元和数据传输单元;中心控制单元,接收检测数据,控制各单元运行;红外检测单元,检测病人全身体温,监控身体局部温度变化;信号放大单元,放大检测的局部温度信号;误差调节单元,对检测到的温度数据进行误差分析,修正数据结果;数据传输单元,各单元进行数据传输,辅助中心控制单元控制各单元。本发明提高了手术测温的智能化水平,配合一体化手术室全程检测病人体温细节变化,便于医生及时了解病人手术过程中的身体状况变化。

    一种基于热电堆红外测温模组

    公开(公告)号:CN112097922A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010999675.7

    申请日:2020-09-22

    发明人: 廖伟华

    摘要: 本发明公开了一种基于热电堆红外测温模组,涉及体温测量技术领域;为了解决温度测量受距离影响较大问题;具体包括核心组件和安置组件,所述核心组件包括装置盒和MCU处理器控制板,所述MCU处理器控制板顶部外壁电性安装有热电堆红外传感芯片、距离传感模块、高精度NTC芯片、匹配模块和外接设备接口,其中热电堆红外传感芯片电性连接有热电堆红外传感器,距离传感模块电性连接有距离传感器;所述MCU处理器控制板内部设置有驱动模块,驱动模块包括温度计算程序和环境补偿程序。本发明匹配模块能够针对到厘米范围测量的人体体温会进行放大或缩小处理,同时配合环境补偿程序和温度计算程序,使得所测量温度误差小于0.1度。

    一套集成测温和人脸识别闸机伴侣的检测通行系统

    公开(公告)号:CN111223225A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN202010086294.X

    申请日:2020-02-11

    摘要: 本发明适用于热测温和人脸检测技术领域,提供了一套集成测温和人脸识别闸机伴侣的检测通行系统,通过设置人脸成像摄像头、热电堆传感器、TOF光学测距镜头模组和环境温度补偿模块,人脸成像摄像头用于检测和识别人脸及判断被测人是否正脸面对闸机伴侣,热电堆传感器用于在被测人的正脸面对人脸成像摄像头时,检测被测人的额头温度值和人脸周围的环境温度值,TOF光学测距镜头模组用于检测人脸和热电堆传感器的距离值,环境温度补偿模块用于根据额头被测温度值、人脸和热电堆传感器的距离值和环境温度值,进行温度补偿,以获得被测人人体体温值,并作为结果输出,从而能够在闸机进行人脸识别的同时,对被测人进行体温检测,对通行做有效地管控。

    提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性的结构

    公开(公告)号:CN103256989B

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201310166218.X

    申请日:2013-05-07

    发明人: 孟如男 王玮冰

    IPC分类号: G01J5/16

    摘要: 本发明提供一种提高封闭膜式热电堆探测器导热稳定性能的结构,包括一热电堆功能区,在热电堆功能区的四周环绕热电堆功能区设置有立体构造的金属环,所述金属环由具有垂直构造的金属内环和金属外环构成;所述金属内环和金属外环均包含自下而上交替设置的至少一层通孔层和至少一层金属层;通孔层内填充金属材料,连接上下相邻的金属层;金属内环和金属外环之间留有电路走线区;至少有一层金属层在金属内环和金属外环之间延伸,穿透电路走线区,连接金属内环和金属外环;以使得金属内环和金属外环热导通。本发明通过金属环形成的“热短路”效应可以使热电堆功能区实现稳定的导热性能。

    红外热电堆温度传感器的自校正电路

    公开(公告)号:CN103398784B

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201310319415.0

    申请日:2013-07-26

    IPC分类号: G01J5/16

    摘要: 本发明提供一种红外热电堆温度传感器的自校正电路,其结构包括:用于提供自校正标准发热源的发热电阻,发热电阻一端通过一个开关与供电电源相连,所述开关由自校正信号产生控制电路控制;发热电阻的另一端与恒流电流源相连,发热电阻两端的电压差通过模数转换模块连接到响应率计算逻辑电路的输入端;发热电阻产生的热辐照被红外热电偶对所吸收,从而得到相应的电压差值也通过模数转换模块连接到响应率计算逻辑电路的输入端;响应率计算逻辑电路的输出端连接到红外热电堆温度传感器的温度计算逻辑电路。本发明实现了针对红外热电堆温度传感器的自校正,这套自校正框架及温度计算方法同样可被利用于其他类型的响应率随环境温度变化的温度传感器中。