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公开(公告)号:CN104737302A
公开(公告)日:2015-06-24
申请号:CN201380040222.X
申请日:2013-05-29
申请人: 速力斯公司 , A·德什潘德 , P·卡普尔 , V·V·雷纳 , M·M·穆斯利赫 , S·M·苏特 , H·德沙泽尔 , S·科默拉 , P·安巴拉甘 , B·E·拉特尔 , S·库坦特
CPC分类号: H01L31/022441 , H01L31/02167 , H01L31/0682 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要: 描述了与太阳能电池的多级金属化有关的制作方法和结构。在一个实施例中,背触点太阳能电池包括具有接收光的前侧表面的衬底,以及用于形成图案化的发射极和非嵌套的基极区域的背侧表面。在晶体半导体衬底的背侧表面形成叉指状的掺杂的发射极和基极区域。在图案化的掺杂的发射极和基极区域上形成图案化的电绝缘层堆叠,该电绝缘层堆叠至少包括掺杂层和非掺杂覆盖层的组合。形成触点金属化图案,该触点金属化图案包括接触发射极区域的发射极金属化电极和接触基极区域的非嵌套基极金属化电极,其中,允许非嵌套基极金属化电极超出基极区域,从而与至少一部分的图案化的电绝缘体重叠而不会在太阳能电池中引发电分流。