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公开(公告)号：CN107343383A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201680008453.6
申请日：2016-02-02
Applicant: 三井化学东赛璐株式会社
IPC: H01L31/048
CPC classification number: H01L31/048 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 一种膜(10)，其在至少一个面以格子状排列形成有多个凹部(100)。而且，多个凹部(100)的平均深度为50μm以上200μm以下。此外，在该至少一个面中，将表面为平坦的情况下的表观表面积设为Sa，并将未形成多个凹部(100)的上表面(110)的面积设为St时，由St/Sa×100(％)表示的上表面(110)的面积率为10％以下。
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