公开(公告)号：CN118556210A

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202380017368.6

申请日：2023-01-19

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 平野政胜 ,  田中友和

IPC: G03F1/62

Abstract: 本发明提供防护膜的膜张力被调整得合适、由风压等引起的变形得到抑制且结构稳定性优异的防护膜组件。防护膜组件的特征在于，具备矩形状的框体(2)、设于框体(2)的一面侧的防护膜(3)以及设于框体(2)的另一面侧的掩模粘着剂(4)，框体(2)的长边的长度为600mm以上，以及短边的长度为500mm以上，在进行预定的送风颤动实验时，第一方向上的位移量(T1)与第二方向上的位移量(T2)之和(Δ位移量＝T1+T2)为1.50mm～2.80mm，并且第一方向上的最大位移量(T1max)和第二方向上的最大位移量(T2max)中的较大一方(颤动量)为1.00mm～2.40mm。

公开(公告)号：CN118661134A

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202380020095.0

申请日：2023-01-26

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 吉村裕 ,  柿原惠一 ,  田中亮 ,  丸山裕司 ,  东昌嗣 ,  山内理计 ,  田中友和

IPC: G03F1/62

Abstract: 一种防护膜组件(5)，其具有配置防护膜(11)的框体(12)和配置于框体(12)的掩模用粘着剂层(13)，在从该掩模(4)的背面对粘着剂层(13)的与石英制掩模(4)的贴附部分(S1)照射2分钟氙(Xe)准分子灯之后将防护膜组件(5)剥离时，粘着剂层(13)的残留率(粘着剂层(13)在石英制掩模(4)上的残留面积/粘着剂层(13)的贴附部分(S1)的面积)为0.001～5.0％。