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公开(公告)号:CN100410176C
公开(公告)日:2008-08-13
申请号:CN200580000085.2
申请日:2005-01-06
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: B01D53/9454 , B01J21/066 , B01J23/002 , B01J23/02 , B01J23/10 , B01J2523/00 , C01F17/0018 , C01F17/0043 , C01P2002/54 , C01P2002/72 , C09K3/1409 , Y02T10/22 , B01J2523/23 , B01J2523/3706 , B01J2523/3712 , B01J2523/3718 , B01J2523/48 , B01J2523/3725
Abstract: 本发明提供可用作研磨材料、并且在用作研磨材料时能够获得高研磨面精度的被研磨面的主成分为铈氧化物的氧化物固溶体粉末。采用以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中固溶有钙氧化物的氧化物固溶体研磨玻璃基板等玻璃材料时,能够获得高研磨面精度的被研磨面,非常适合用作研磨材料。使钙元素固溶于以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中,能够提高化学研磨力,并能够得到更高的研磨面精度。
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公开(公告)号:CN1764601A
公开(公告)日:2006-04-26
申请号:CN200580000085.2
申请日:2005-01-06
Applicant: 三井金属鉱业株式会社
CPC classification number: B01D53/9454 , B01J21/066 , B01J23/002 , B01J23/02 , B01J23/10 , B01J2523/00 , C01F17/0018 , C01F17/0043 , C01P2002/54 , C01P2002/72 , C09K3/1409 , Y02T10/22 , B01J2523/23 , B01J2523/3706 , B01J2523/3712 , B01J2523/3718 , B01J2523/48 , B01J2523/3725
Abstract: 本发明提供可用作研磨材料、并且在用作研磨材料时能够获得高研磨面精度的被研磨面的主成分为铈氧化物的氧化物固溶体粉末。采用以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中固溶有钙氧化物的氧化物固溶体研磨玻璃基板等玻璃材料时,能够获得高研磨面精度的被研磨面,非常适合用作研磨材料。使钙元素固溶于以氧化铈为主成分的稀土类氧化物中,能够提高化学研磨力,并能够得到更高的研磨面精度。
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