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发明公开
激光退火装置审中-实审

公开(公告)号：CN116072525A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211288711.4

申请日：2022-10-20

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 全鎭弘 , 三宫晓史 , 柳济吉 , 朴喆镐 , 禹正勋 , 李惠淑 , 蔡永洙

IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/77

摘要： 激光退火装置可以包括：多个激光器；激光器控制器，控制所述多个激光器使得由所述多个激光器生成的多个激光束在彼此不同的时刻被射出；光束混合光学系统，混合调节了射出时刻的所述多个激光束来输出加工束；以及聚焦光学系统，调节所述加工束的焦点来输出所述加工束。所述加工束可以包括：第一激光束，具有第一脉冲；第二激光束，具有比所述第一脉冲延迟的第二脉冲；以及第三激光束，具有比所述第二脉冲延迟的第三脉冲，所述第一脉冲的第一峰值可以小于所述第二脉冲的第二峰值，所述第三脉冲的第三峰值可以小于所述第二峰值。