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公开(公告)号:CN112510474A
公开(公告)日:2021-03-16
申请号:CN202010737023.6
申请日:2020-07-28
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01S3/08 , H01L21/268 , B23K26/06 , H01S3/034
Abstract: 提供了一种激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备。激光光源包括气密容器。第一共振镜和第二共振镜设置在气密容器外部。第一共振镜包括透镜单元和反射涂层。透镜单元包括第一表面和第二表面,并且第一表面相对于第二表面倾斜。
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公开(公告)号:CN113843535A
公开(公告)日:2021-12-28
申请号:CN202110079831.2
申请日:2021-01-21
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 公开本发明的显示装置的制造装置。本发明的显示装置的制造装置包括:多个激光生成部;第一测定部,测定从各个所述激光生成部发出的激光的一部分;光学系统,使从各个所述激光生成部发出的激光入射而生成一个工艺激光;第二测定部,测定从所述光学系统发出的所述工艺激光;以及控制部,基于由所述第一测定部测定的各个所述激光与由所述第二测定部测定的所述工艺激光来调节所述激光从各个所述激光生成部发出的时间点。
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公开(公告)号:CN117596993A
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202310908917.0
申请日:2023-07-24
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 公开了显示装置制造装置及显示装置制造方法,显示装置制造装置包括:激光发射器,用于发射在短轴方向上的色散大于在长轴方向上的色散的激光;以及激光转换器,用于将激光转换成在长轴方向上的色散大于在短轴方向上的色散的经转换的激光。
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公开(公告)号:CN110181176B
公开(公告)日:2023-01-06
申请号:CN201910121865.6
申请日:2019-02-19
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本申请提供一种激光照射装置。激光照射装置包括光学系统、密封箱和工艺腔,其中,所述光学系统包括多个透镜并且在由第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向构成的平面上产生长边位于所述第一方向上的矩形形态的激光束(BEAM),并沿着与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向照射所述激光束,所述密封箱包括阻挡所述激光束在所述第一方向上的两个末端的光束切割器,并且所述工艺腔包括台,所述台支承被穿过所述光束切割器的所述激光束照射的被处理衬底。所述光束切割器包括比热为0.7J/g℃以上的材料。
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公开(公告)号:CN110181176A
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201910121865.6
申请日:2019-02-19
Applicant: 三星显示有限公司
Abstract: 本申请提供一种激光照射装置。激光照射装置包括光学系统、密封箱和工艺腔,其中,所述光学系统包括多个透镜并且在由第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向构成的平面上产生长边位于所述第一方向上的矩形形态的激光束(BEAM),并沿着与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向照射所述激光束,所述密封箱包括阻挡所述激光束在所述第一方向上的两个末端的光束切割器,并且所述工艺腔包括台,所述台支承被穿过所述光束切割器的所述激光束照射的被处理衬底。所述光束切割器包括比热为0.7J/g℃以上的材料。
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