公开(公告)号：CN113843535A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202110079831.2

申请日：2021-01-21

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 申东勳 ,  朴京镐

IPC: B23K26/70 ,  H01L27/32 ,  H01L21/67

Abstract: 公开本发明的显示装置的制造装置。本发明的显示装置的制造装置包括：多个激光生成部；第一测定部，测定从各个所述激光生成部发出的激光的一部分；光学系统，使从各个所述激光生成部发出的激光入射而生成一个工艺激光；第二测定部，测定从所述光学系统发出的所述工艺激光；以及控制部，基于由所述第一测定部测定的各个所述激光与由所述第二测定部测定的所述工艺激光来调节所述激光从各个所述激光生成部发出的时间点。

公开(公告)号：CN111435638B

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN201911095669.2

申请日：2019-11-11

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 申东勋 ,  金志桓 ,  朴京镐 ,  孙明石 ,  李洪鲁 ,  崔京植

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/67

Abstract: 根据本公开的激光结晶装置可包括光源部、第一光学部、第二光学部、阻断部、第三光学部以及工作台。所述光源部可射出第一激光束。所述第一光学部可改变所述第一激光束的路径及大小而将所述第一激光束转换为第二激光束。所述第二光学部可将所述第二激光束分割而转换为分割激光束。所述分割激光束包括中心激光束和包围所述中心激光束的外围激光束，所述阻断部可阻断所述中心激光束中的至少一部分。所述第三光学部可改变所述分割激光束中通过所述阻断部的激光束的路径而将所述激光束转换为第三激光束。所述工作台可与所述第三光学部相对布置。所述第一光学部可基于照射所述在工作台上的所述第三激光束，改变所述第一激光束的所述路径及大小。

公开(公告)号：CN112510474A

公开(公告)日：2021-03-16

申请号：CN202010737023.6

申请日：2020-07-28

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 崔京植 ,  申东勳 ,  柳壎澈 ,  金京睦 ,  文载雄 ,  朴京镐 ,  石基焕 ,  孙明石 ,  李洪鲁

IPC: H01S3/08 ,  H01L21/268 ,  B23K26/06 ,  H01S3/034

Abstract: 提供了一种激光光源和包括该激光光源的激光晶化设备。激光光源包括气密容器。第一共振镜和第二共振镜设置在气密容器外部。第一共振镜包括透镜单元和反射涂层。透镜单元包括第一表面和第二表面，并且第一表面相对于第二表面倾斜。

公开(公告)号：CN111293053A

公开(公告)日：2020-06-16

申请号：CN201911129165.8

申请日：2019-11-18

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 崔京植 ,  金志桓 ,  朴京镐 ,  孙明石 ,  申东勋 ,  刘光炫 ,  李洪鲁

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 根据本发明一实施例的一种激光晶化装置的监控系统包括：工作台，用于支撑基板；激光生成部，向所述基板提供激光束；散射光束检测部，检测出在所述基板上被散射的所述激光束的散射光束；及，控制部，接收并存储被检测出的所述散射光束的强度相关的数据，基于此来修正所述激光生成部的所述激光束的强度。

公开(公告)号：CN111435638A

公开(公告)日：2020-07-21

申请号：CN201911095669.2

申请日：2019-11-11

Applicant: 三星显示有限公司

Inventor： 申东勋 ,  金志桓 ,  朴京镐 ,  孙明石 ,  李洪鲁 ,  崔京植

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/67

Abstract: 根据本公开的激光结晶装置可包括光源部、第一光学部、第二光学部、阻断部、第三光学部以及工作台。所述光源部可射出第一激光束。所述第一光学部可改变所述第一激光束的路径及大小而将所述第一激光束转换为第二激光束。所述第二光学部可将所述第二激光束分割而转换为分割激光束。所述分割激光束包括中心激光束和包围所述中心激光束的外围激光束，所述阻断部可阻断所述中心激光束中的至少一部分。所述第三光学部可改变所述分割激光束中通过所述阻断部的激光束的路径而将所述激光束转换为第三激光束。所述工作台可与所述第三光学部相对布置。所述第一光学部可基于照射所述在工作台上的所述第三激光束，改变所述第一激光束的所述路径及大小。