公开(公告)号：CN114686237B

公开(公告)日：2024-04-23

申请号：CN202111474948.7

申请日：2021-12-03

申请人： 三星显示有限公司 ,  东友精细化工有限公司

发明人： 朴种熙 ,  金炯式 ,  权五柄 ,  南基龙 ,  闵庚灿 ,  李昔准 ,  金英民 ,  金镇亨 ,  李东勋 ,  林奎勋 ,  张东玟

IPC分类号： C09K13/06 ,  C23F1/30 ,  C23F1/44 ,  C23F1/02 ,  H10K59/12

摘要： 一种用于含银薄膜的蚀刻组合物，所述蚀刻组合物包括无机酸化合物、磺酸化合物、有机酸化合物、硝酸盐、金属氧化剂、氨基酸化合物以及水。

公开(公告)号：CN116445915A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202210611774.2

申请日：2022-05-31

申请人： 三星显示有限公司 ,  东友精细化工有限公司

发明人： 金炯式 ,  朴种熙 ,  南基龙 ,  闵庚灿 ,  朴镛云 ,  张晌勋 ,  金英民 ,  李东勋 ,  李秉洙 ,  林奎勋 ,  丁荣鲁 ,  李昔准 ,  曺雨辰

IPC分类号： C23F1/30 ,  C23F1/02 ,  H01L21/3213 ,  H10K59/123 ,  H10K71/00 ,  H01L21/77

摘要： 本发明公开了蚀刻液组合物、利用其的金属图案的制造方法以及显示装置的制造方法，根据本发明的一实施例的蚀刻液组合物包含：8重量％以上且15重量％以下的硝酸；3重量％以上且8重量％以下的烷基磺酸；25重量％以上且55重量％以下的有机酸；15重量％以上且25重量％以下的硫酸盐；0.01重量％以上且1.0重量％以下的金属盐；0.5重量％以上且7重量％以下的硝酸盐；以及使得整体组合物的总重量成为100重量％的水。

公开(公告)号：CN114686237A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202111474948.7

申请日：2021-12-03

申请人： 三星显示有限公司 ,  东友精细化工有限公司

发明人： 朴种熙 ,  金炯式 ,  权五柄 ,  南基龙 ,  闵庚灿 ,  李昔准 ,  金英民 ,  金镇亨 ,  李东勋 ,  林奎勋 ,  张东玟

IPC分类号： C09K13/06 ,  C23F1/30 ,  C23F1/44 ,  C23F1/02 ,  H01L27/32

摘要： 一种用于含银薄膜的蚀刻组合物，所述蚀刻组合物包括无机酸化合物、磺酸化合物、有机酸化合物、硝酸盐、金属氧化剂、氨基酸化合物以及水。