半导体器件及其制造方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111584464A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN201911145205.8

    申请日:2019-11-19

    Abstract: 提供了一种半导体器件及其制造方法。半导体器件可以包括顺序堆叠的第一子芯片和第二子芯片以及将第一子芯片和第二子芯片彼此电连接的贯通接触部。第一子芯片和第二子芯片中的每一个子芯片包括衬底和介于衬底之间的多个互连线。第二子芯片的互连线可以包括分别具有第一开口和第二开口的第一互连线和第二互连线,第一开口和第二开口彼此水平偏移。贯通接触部从第二子芯片的衬底朝第一子芯片延伸并可以包括辅助接触部,辅助接触部穿过第一开口和第二开口朝第一子芯片延伸,并具有比第一子芯片的互连线中的最上互连线的顶表面高的底表面。

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