公开(公告)号：CN110763706B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN201910384702.7

申请日：2019-05-09

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 沈成辅 ,  慎一揆 ,  李宣怜 ,  亚历山大·施密特 ,  李伸旭

IPC分类号： G01N23/04 ,  G01N23/20058 ,  G01N23/2055

摘要： 一种分析晶体缺陷的系统包括图像处理器、图像生成器和比较器。图像处理器处理通过捕获具有晶体结构的样本的图像而提供的测量透射电子显微镜(TEM)图像，以提供所述样本的结构缺陷信息。图像生成器提供与所述晶体结构的多个三维结构缺陷对应的多个虚拟TEM图像。比较器使用所述结构缺陷信息将测量TEM图像与所述多个虚拟TEM图像进行比较，以确定所述测量TEM图像的缺陷类型。

公开(公告)号：CN110763706A

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：CN201910384702.7

申请日：2019-05-09

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 沈成辅 ,  慎一揆 ,  李宣怜 ,  亚历山大·施密特 ,  李伸旭

IPC分类号： G01N23/04 ,  G01N23/20058 ,  G01N23/2055

摘要： 一种分析晶体缺陷的系统包括图像处理器、图像生成器和比较器。图像处理器处理通过捕获具有晶体结构的样本的图像而提供的测量透射电子显微镜(TEM)图像，以提供所述样本的结构缺陷信息。图像生成器提供与所述晶体结构的多个三维结构缺陷对应的多个虚拟TEM图像。比较器使用所述结构缺陷信息将测量TEM图像与所述多个虚拟TEM图像进行比较，以确定所述测量TEM图像的缺陷类型。