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    图像处理装置及其图像处理方法
    1.
    发明公开
    图像处理装置及其图像处理方法 无效

    公开(公告)号：CN103581746A

    公开(公告)日：2014-02-12

    申请号：CN201310328711.7

    申请日：2013-07-31

    申请人： 三星电子株式会社

    发明人： 李相珉

    IPC分类号： H04N21/4402 ,  H04N21/4405 ,  H04N7/01

    CPC分类号： H04N5/44 ,  H04N21/44004 ,  H04N21/44008 ,  H04N21/440218

    摘要： 提供了一种图像处理装置图像和处理装置的图像处理方法。所述方法包括：接收流化图像数据；解码接收到的流化图像数据以便生成多个连续帧；检测多个生成的连续帧当中分辨率变化的帧；和使用预设缩放因子缩放多个生成的连续帧。所述缩放包括：刚好在检测到的分辨率变化的帧被缩放之前，将所述预设缩放因子变为与检测到的分辨率变化的帧的分辨率对应的缩放因子。

    无掩模曝光方法和设备以及制造半导体装置的方法
    4.
    发明公开
    无掩模曝光方法和设备以及制造半导体装置的方法 无效

    公开(公告)号：CN109856924A

    公开(公告)日：2019-06-07

    申请号：CN201811351362.X

    申请日：2018-11-14

    申请人： 三星电子株式会社

    发明人： 李相珉 ,  朴相玄 ,  朱愿暾

    IPC分类号： G03F7/20 ,  H01L21/027

    摘要： 本申请提供一种无掩模曝光方法、一种无掩模曝光设备和一种制造半导体装置的方法。无掩模曝光方法包括:将从光源输出的光空间调制成具有掩模图案的图案光束；将调制的图案光束会聚成第一组点光束和第二组点光束，第一组点光束在实质上与目标层的曝光表面垂直的Z轴上具有第一焦点位置，第二组点光束具有与第一焦点位置不同的第二焦点位置；并且利用第一组点光束和第二组点光束扫描目标层。目标层具有第一高度和与第一高度不同的第二高度。

    晶圆加热设备
    5.
    发明公开
    晶圆加热设备 审中-公开

    公开(公告)号：CN117637532A

    公开(公告)日：2024-03-01

    申请号：CN202311062765.3

    申请日：2023-08-22

    申请人： 三星电子株式会社

    发明人： 金周喜 ,  全永在 ,  赵宰衒 ,  金利桓 ,  李相珉

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H05B3/00

    摘要： 提供了一种晶圆加热设备。所述晶圆加热设备可以包括具有内部空间的加热腔室和设置在加热腔室的内部空间中的加热灯。加热灯可以被构造为对晶圆进行加热。加热灯可以包括多个灯。多个灯中的每个灯可以呈具有开口区域的环形带形状。至少一个灯可以设置在与多个灯的开口区域相邻的区域之中的至少一个区域中。