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公开(公告)号:CN100403608C
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN01112110.6
申请日:2001-03-28
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: H01S5/183
CPC分类号: H01S5/423 , H01S5/18308 , H01S5/18344 , H01S5/18361 , H01S5/2063 , H01S5/4087
摘要: 用于发射不同波长的光束的多波长面发射激光器,其包括集成在一个衬底上的下反射器、活性层和上反射器。制造方法为,形成一用于发射具有第一波长的光的第一面发射激光器;在第一面发射激光器的外表面上形成一保护膜、形成一用于发射具有第二波长的光的第二面发射激光器、蚀刻去除形成在保护膜上的第二下反射器、第二活性层和第二上反射层;除去保护膜,并分别在第一和第二上反射层的上表面上形成第一和第二电极,在衬底的底面上形成一下电极。
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公开(公告)号:CN1335658A
公开(公告)日:2002-02-13
申请号:CN01112110.6
申请日:2001-03-28
申请人: 三星电子株式会社
IPC分类号: H01S5/183
CPC分类号: H01S5/423 , H01S5/18308 , H01S5/18344 , H01S5/18361 , H01S5/2063 , H01S5/4087
摘要: 用于发射不同波长的光束的多波长面发射激光器,其包括集成在一个衬底上的下反射器、活性层和上反射器。制造方法为,形成一用于发射具有第一波长的光的第一面发射激光器;在第一面发射激光器的外表面上形成一保护膜、形成一用于发射具有第二波长的光的第二面发射激光器、蚀刻去除形成在保护膜上的第二下反射器、第二活性层和第二上反射层;除去保护膜,并分别在第一和第二上反射层的上表面上形成第一和第二电极,在衬底的底面上形成一下电极。
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