公开(公告)号：CN110867364A

公开(公告)日：2020-03-06

申请号：CN201910625718.2

申请日：2019-07-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金敬勋 ,  文丁一 ,  李衡周 ,  宣钟宇 ,  金东规

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了一种等离子体监测装置，包括：物镜，被配置为收集从等离子体发射并穿过腔室的光学窗口的光；第一分束器，被配置为将由物镜收集的光分成第一光和第二光；第一光学系统和第二光学系统，分别设置在第一光的第一光路和第二光的第二光路上，第一光学系统和第二光学系统具有不同的焦距，使得第一光学系统和第二光学系统的焦点设置在等离子体中的不同区域；以及光检测器，被配置为检测已经穿过第一光学系统的第一光和已经穿过第二光学系统的第二光。

公开(公告)号：CN110867364B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN201910625718.2

申请日：2019-07-11

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 金敬勋 ,  文丁一 ,  李衡周 ,  宣钟宇 ,  金东规

IPC: H01J37/32

Abstract: 提供了一种等离子体监测装置，包括：物镜，被配置为收集从等离子体发射并穿过腔室的光学窗口的光；第一分束器，被配置为将由物镜收集的光分成第一光和第二光；第一光学系统和第二光学系统，分别设置在第一光的第一光路和第二光的第二光路上，第一光学系统和第二光学系统具有不同的焦距，使得第一光学系统和第二光学系统的焦点设置在等离子体中的不同区域；以及光检测器，被配置为检测已经穿过第一光学系统的第一光和已经穿过第二光学系统的第二光。