光束转向装置及包括该光束转向装置的传感器系统

    公开(公告)号:CN110071422B

    公开(公告)日:2023-09-26

    申请号:CN201910046740.1

    申请日:2019-01-14

    Abstract: 光束转向装置可以包括配置为发射激光束的可调谐激光二极管以及天线,天线包括光栅结构并且配置为基于光栅结构将激光束转换为线性光源。可调谐激光二极管可以发射具有第一波长的第一激光束,并且发射具有第二波长的第二激光束,第二波长不同于第一波长。天线可以接收第一激光束,并且作为响应,输出相对于天线的表面具有第一发射角的第一线性光源。天线还可以接收第二激光束,并且作为响应,输出相对于天线的表面具有第二发射角的第二线性光源,第二发射角不同于第一发射角。

    半导体存储器器件和系统

    公开(公告)号:CN101819810A

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN201010113387.3

    申请日:2010-02-03

    CPC classification number: G11C8/18 G11C29/023

    Abstract: 本发明提供一种半导体存储器器件和系统。该半导体存储器系统包括:存储器控制器和存储器。存储器控制器包括:控制信号转换单元,所述控制信号转换单元将控制信号转换成包括n个顺次时钟脉冲的转换控制信号和目标时钟脉冲,并且输出转换控制信号,所述目标时钟脉冲在从n个顺次时钟脉冲的起始点经过一时间段之后被激活;以及控制器发射单元,所述控制器发射单元将转换控制信号转换成光信号,并且将光信号发射到存储器。存储器包括:存储器接收单元,所述存储器接收单元将光信号转换成电信号;以及控制信号重新转换单元,所述控制信号重新转换单元从所述电信号检测时间段,并且将控制信号转换成与时间段相对应的控制信号。

    包含有曲折线圈天线的感应耦合等离子体发生设备

    公开(公告)号:CN1248549C

    公开(公告)日:2006-03-29

    申请号:CN200310101227.7

    申请日:2003-10-15

    CPC classification number: H01J37/321

    Abstract: 一种感应耦合等离子体(ICP)发生设备,包括:抽真空的反应室;天线,该天线安装在反应室的上部,以感应用于离子化供给到反应室内的反应气体并产生等离子体的电场;以及射频(RF)电源,其连接到天线上以便将射频功率施加到天线上;其中,天线包括多个具有不同半径的线圈,至少一个线圈为弯曲成锯齿形图案的曲折线圈。电容器连接在RF电源和匹配网络之间、以及匹配网络和天线之间、与天线并联、以便诱发LC谐振现象。利用具有上述结构的ICP发生设备,可以减小天线电感、抑制电容耦合、并改善等离子体均匀性。也可以利用LC谐振现象有效地放电并维持等离子体。

    用于利用磁场形成金属薄膜的溅射装置

    公开(公告)号:CN1407130A

    公开(公告)日:2003-04-02

    申请号:CN02106239.0

    申请日:2002-04-05

    CPC classification number: C23C14/35 H01J37/3402

    Abstract: 一种溅射装置,包括溅射室,放置在溅射室中的靶极,以及在靶极前面产生旋转磁场的磁场发生器。该磁场发生器包括朝向该靶极背面的主磁场产生部件,并且相对于穿过该靶极中心的垂直线水平偏移。主磁场产生部件的磁环形成一面向靶极中心部分和边缘部分的位置有穿过磁环的开口的磁性围栏。该磁场产生部分因此在靶极前面产生一非均匀分布的磁场。一个衬底被放置在溅射室内部,面对靶极的前面。由靶极前面溅射出的原子在衬底上形成一金属层。该被溅射出的原子的动作被该磁场有效地控制着。

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