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公开(公告)号：CN109256328B
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN201810030517.3
申请日：2018-01-12
申请人： 三星电子株式会社
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/033
摘要： 提供硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法。所述硬掩模组合物可包括石墨烯量子点、金属化合物、和溶剂。所述金属化合物可与所述石墨烯量子点化学键合(例如，共价键合)。所述金属化合物可包括金属氧化物、金属碳化物、或其组合。所述金属氧化物可包括如下的至少一种：锆(Zr)氧化物、钛(Ti)氧化物、钨(W)氧化物、或铝(Al)氧化物，和所述金属碳化物可包括如下的至少一种：锆(Zr)碳化物、钛(Ti)碳化物、钨(W)碳化物、或铝(Al)碳化物。所述石墨烯量子点可通过M‑O‑C键或M‑C键与所述金属化合物键合，其中M为金属元素，O为氧，且C为碳。
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公开(公告)号：CN107769607B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201710537117.7
申请日：2017-07-04
申请人： 三星电子株式会社
摘要： 本公开涉及摩擦电发电机。一种摩擦电发电机包括彼此间隔开的第一电极和第二电极、分别提供在第一电极和第二电极上的第一起电层和第二起电层、以及被提供为将光照射到第二起电层上的光源。这里，第二起电层包括被配置为由于期望的波长的光而产生表面等离子体激元共振的金属材料，并且光源将被配置为产生表面等离子体激元共振的期望的波长的光照射到第二起电层上。
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公开(公告)号：CN109256328A
公开(公告)日：2019-01-22
申请号：CN201810030517.3
申请日：2018-01-12
申请人： 三星电子株式会社
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/033
摘要： 提供硬掩模组合物、其制法和使用其形成图案化的层的方法。所述硬掩模组合物可包括石墨烯量子点、金属化合物、和溶剂。所述金属化合物可与所述石墨烯量子点化学键合(例如，共价键合)。所述金属化合物可包括金属氧化物、金属碳化物、或其组合。所述金属氧化物可包括如下的至少一种：锆(Zr)氧化物、钛(Ti)氧化物、钨(W)氧化物、或铝(Al)氧化物，和所述金属碳化物可包括如下的至少一种：锆(Zr)碳化物、钛(Ti)碳化物、钨(W)碳化物、或铝(Al)碳化物。所述石墨烯量子点可通过M-O-C键或M-C键与所述金属化合物键合，其中M为金属元素，O为氧，且C为碳。
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公开(公告)号：CN115799341A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202211039311.X
申请日：2022-08-29
申请人： 三星电子株式会社
IPC分类号： H01L29/786 , H01L21/336
摘要： 一种多桥沟道场效应晶体管及制造其的方法，该多桥沟道场效应晶体管包括：基板、在基板上的第一源极/漏极图案、在基板上沿第一方向与第一源极/漏极图案分开的第二源极/漏极图案、在第一源极/漏极图案和第二源极/漏极图案之间的第一沟道层和第二沟道层、在第一沟道层和第一源极/漏极图案之间的第一石墨烯阻挡物、围绕第一沟道层的栅极绝缘层、以及栅电极，栅电极围绕第一沟道层并且栅极绝缘层位于其间。
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公开(公告)号：CN107769607A
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201710537117.7
申请日：2017-07-04
申请人： 三星电子株式会社
摘要： 本公开涉及摩擦电发电机。一种摩擦电发电机包括彼此间隔开的第一电极和第二电极、分别提供在第一电极和第二电极上的第一起电层和第二起电层、以及被提供为将光照射到第二起电层上的光源。这里，第二起电层包括被配置为由于期望的波长的光而产生表面等离子体激元共振的金属材料，并且光源将被配置为产生表面等离子体激元共振的期望的波长的光照射到第二起电层上。
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