公开(公告)号：CN110334886A

公开(公告)日：2019-10-15

申请号：CN201910145828.9

申请日：2019-02-27

申请人： 三星电子株式会社 ,  首尔大学校产学协力团

发明人： 吴炅桓 ,  李虎烈 ,  朴元基 ,  徐钟辉 ,  张永日 ,  郭河录 ,  张炳卓 ,  崔成镐

IPC分类号： G06Q10/06 ,  G06Q10/00 ,  G06N3/04 ,  G06N3/08

摘要： 提供了设备诊断系统和方法，其使用设备的异常数据和正常数据，并准确有效地执行对设备的诊断。该设备诊断系统包括：数据采集单元，用于采集设备的时间序列数据；预处理单元，通过傅里叶变换将时间序列数据转换为包括时间分量的频率数据；深度学习单元，通过卷积神经网络(CNN)通过使用频率数据执行深度学习；以及诊断单元，基于深度学习将设备的状态确定为正常状态或故障状态。

公开(公告)号：CN110334886B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201910145828.9

申请日：2019-02-27

申请人： 三星电子株式会社 ,  首尔大学校产学协力团

发明人： 吴炅桓 ,  李虎烈 ,  朴元基 ,  徐钟辉 ,  张永日 ,  郭河录 ,  张炳卓 ,  崔成镐

IPC分类号： G06Q10/063 ,  G06Q10/20 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08

摘要： 提供了设备诊断系统和方法，其使用设备的异常数据和正常数据，并准确有效地执行对设备的诊断。该设备诊断系统包括：数据采集单元，用于采集设备的时间序列数据；预处理单元，通过傅里叶变换将时间序列数据转换为包括时间分量的频率数据；深度学习单元，通过卷积神经网络(CNN)通过使用频率数据执行深度学习；以及诊断单元，基于深度学习将设备的状态确定为正常状态或故障状态。

公开(公告)号：CN115719720A

公开(公告)日：2023-02-28

申请号：CN202211011661.5

申请日：2022-08-23

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 许硕 ,  高次元 ,  金贤友 ,  洪尚俊 ,  姜景元 ,  金东昱 ,  徐璟源 ,  张永日 ,  崔容锡

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 提供了一种基底处理设备，所述基底处理设备包括：光致抗蚀剂涂覆器，在基底上敷设光致抗蚀剂膜；加湿器，增大基底上的光致抗蚀剂膜暴露到的环境中的湿气的量；以及曝光器，用光照射暴露于具有增大的量的湿气的环境中的光致抗蚀剂膜。加湿器设置在光致抗蚀剂涂覆器与曝光器之间。

公开(公告)号：CN111215387A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201910567532.6

申请日：2019-06-27

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 吴炅桓 ,  吴允锡 ,  李虎烈 ,  朴修满 ,  朴元基 ,  张永日

IPC分类号： B08B3/12 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67

摘要： 公开了清洁半导体设备的方法和半导体设备管理系统。所述清洁半导体设备的方法包括：监控半导体设备的管道中的流体的状态；通过使用借助监控收集的数据来构建数据库；基于通过监控收集并储存在数据库的数据来诊断管道的状态；以及在管道的状态被诊断为异常时通过使用超声波来清洁管道。通过使用至少两个超声波发生器来清洁管道。