-
公开(公告)号：CN103575738A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310306369.0
申请日：2013-07-19
Applicant: 三星电机株式会社
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明涉及表面异物检查系统及其控制方法。根据本发明的表面异物检查系统包括：在上部面放置被检物、调节所述上部面的高低的平台部；从所述平台部隔开、根据检查条件照射与所述被检物的表面平行的检查用光的光源照射部；可移动地安装在与所述平台部在上部方向上隔开的支撑台、从所述被检物的表面对散射光进行光接收、对包括所述被检物的异物信息的图像信息进行摄影的摄影部；与所述平台部、光源照射部及摄影部连结，从所述摄影部接收所述图像信息，检测表面异物信息的控制部；以及从所述控制部显示表面异物信息的显示部。
Search Results
1
records
(took 0.014 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
