公开(公告)号：CN100565967C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200610166777.0

申请日：2006-12-14

Applicant: 三星移动显示器株式会社

Inventor： 高三一 ,  俞炳旭 ,  成妍周 ,  李在濠 ,  李承铉 ,  蒋胜旭 ,  杨南喆 ,  宋明原

IPC: H01L51/50 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01L27/32 ,  H05B33/26 ,  H05B33/10

CPC classification number: H01L51/5088 ,  H01L27/3244 ,  H01L51/5218 ,  H01L2251/5315 ,  H01L2251/558

Abstract: 本发明公开了一种有机发光装置及其制造方法，所述装置具有阳极，即由在上发光结构中的单金属层构成下电极。所述有机发光装置包括基底、设置在所述基底上并且包括金属的阳极、设置在所述阳极上的金属氟化物层、和设置在所述金属氟化物层上并且至少包括有机发光层的有机层、和设置在所述有机层上的阴极。阳极通过使用含氟的CF3气体或SF6气体的等离子体法进行表面处理时，单金属层可以被用作阳极，由此改善了发光效率。