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公开(公告)号：CN102463237A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201110159759.0
申请日：2011-06-08
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B08B3/041 , B08B3/022 , B08B5/02 , H01L21/67028 , H01L21/67051
Abstract: 本发明提供了一种基底清洁系统和方法，所述基底清洁系统包括：运送单元，具有用于运送基底的多个辊，其中，所述多个辊中的每个辊包括辊轴和结合到辊轴的多个分隔辊，多个辊轴中相邻的辊轴之间的间隙大于所述多个分隔辊中的每个分隔辊的半径；第一冲洗单元，沿所述运送单元设置，并被构造成将第一清洁液施加到所述基底上；清洁单元，包括狭缝喷嘴并被构造成在基底与所述第一冲洗单元相遇之后将第二清洁液涂覆到所述基底上。
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