平板显示设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN102270605A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN201110156802.8

    申请日:2011-06-03

    Abstract: 本发明提供一种平板显示设备及其制造方法。所述制造平板显示设备的方法包括:在基板上形成薄膜晶体管(TFT)的半导体层;在所述半导体层上形成栅电极,其中所述栅电极与所述半导体层之间有栅绝缘层,并且利用离子杂质对所述半导体层的源区和漏区进行掺杂;依次形成第一导电层、第一绝缘层和第二导电层,并且通过图案化所述第一导电层、所述第一绝缘层和所述第二导电层在离开所述TFT一定距离处形成电容器;形成第二绝缘层,并且形成穿过所述第二绝缘层的接触孔,所述接触孔暴露所述源区和所述漏区以及所述第二导电层的一部分;并且形成通过所述接触孔分别接触所述源区和所述漏区以及所述第二导电层的源电极和漏电极。

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