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发明授权
激光加工装置、定位装置、观察装置及观察方法有权转让

公开(公告)号：CN101274392B

公开(公告)日：2011-04-06

申请号：CN200810090313.5

申请日：2008-03-28

申请人： 三星钻石工业株式会社

发明人： 小川纯一 , 栗山规由 , 林和夫 , 庭山博

IPC分类号： B23K26/03 , B23K26/02 , B23K26/40

摘要： 提供能够在观察像中明确地识别在透明基板上形成的不透明的器件图案的观察方法和观察装置。在形成有器件图案(3)的一侧粘贴粘接板(4)，将透明基板固定于透明的承载台(7)，从承载台(7)的上方重叠地照射同轴透射照明光(L1)和斜射透射照明光(L2)，通过使用背面观察单元(6)从承载台(7)的下方经由承载台(7)进行观察，在观察像中，对应于器件图案(3)观察到暗的(黑色的)器件图案像，和除器件图案像以外的明亮的部分。并且，对应于气泡的部分很明亮。从而能够在观察像中明确地确定器件图案(3)的形状。