导电性组合物、抗蚀剂被覆材料、抗蚀剂及抗蚀剂图案的形成方法

    公开(公告)号:CN114945635A

    公开(公告)日:2022-08-26

    申请号:CN202180009244.4

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明提供一种导电性组合物,其能够形成具有优异导电性的同时抗蚀剂层的膜损失少的导电膜。本发明的导电性组合物含有导电性聚合物和表面活性剂。所述表面活性剂的临界胶束浓度小于0.1质量%时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为5质量份以上。此外,所述表面活性剂的临界胶束浓度为0.1质量%以上时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为大于100质量份。

    导电性组合物及其制造方法、导电体及其制造方法

    公开(公告)号:CN112996856A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN201980073699.5

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 本发明使用一种导电性组合物,其包含具有酸性基团的导电性聚合物(A)和碱性化合物(B),通过凝胶渗透色谱法以特定方法计算出的、相对于来源于全部区域的面积(Y)的分子量(M)为300~3300的区域的面积(X)之比(X/Y)为0.046以下,或ZS/ZR为20以下。其中,所述ZS是:对于用水稀释所述导电性组合物使所述导电性聚合物(A)的固体成分浓度成为0.6质量%而得到的测定溶液,在使用荧光分光光度计在激发波长230nm下测定荧光光谱时,波长320~420nm的区域中的荧光强度的最大值;所述ZR是:对于水,在使用荧光分光光度计在激发波长350nm下测定荧光光谱时,波长380~420nm的区域中的拉曼散射强度的最大值。

    导电性组合物、抗蚀剂被覆材料、抗蚀剂及抗蚀剂图案的形成方法

    公开(公告)号:CN114945635B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202180009244.4

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明提供一种导电性组合物,其能够形成具有优异导电性的同时抗蚀剂层的膜损失少的导电膜。本发明的导电性组合物含有导电性聚合物和表面活性剂。所述表面活性剂的临界胶束浓度小于0.1质量%时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为5质量份以上。此外,所述表面活性剂的临界胶束浓度为0.1质量%以上时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为大于100质量份。

    导电性组合物及其制造方法、导电体及其制造方法

    公开(公告)号:CN112996856B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN201980073699.5

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 本发明使用一种导电性组合物,其包含具有酸性基团的导电性聚合物(A)和碱性化合物(B),通过凝胶渗透色谱法以特定方法计算出的、相对于来源于全部区域的面积(Y)的分子量(M)为300~3300的区域的面积(X)之比(X/Y)为0.046以下,或ZS/ZR为20以下。其中,所述ZS是:对于用水稀释所述导电性组合物使所述导电性聚合物(A)的固体成分浓度成为0.6质量%而得到的测定溶液,在使用荧光分光光度计在激发波长230nm下测定荧光光谱时,波长320~420nm的区域中的荧光强度的最大值;所述ZR是:对于水,在使用荧光分光光度计在激发波长350nm下测定荧光光谱时,波长380~420nm的区域中的拉曼散射强度的最大值。

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