导电性组合物、抗蚀剂被覆材料、抗蚀剂及抗蚀剂图案的形成方法

    公开(公告)号:CN114945635B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202180009244.4

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明提供一种导电性组合物,其能够形成具有优异导电性的同时抗蚀剂层的膜损失少的导电膜。本发明的导电性组合物含有导电性聚合物和表面活性剂。所述表面活性剂的临界胶束浓度小于0.1质量%时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为5质量份以上。此外,所述表面活性剂的临界胶束浓度为0.1质量%以上时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为大于100质量份。

    导电性组合物、抗蚀剂被覆材料、抗蚀剂及抗蚀剂图案的形成方法

    公开(公告)号:CN114945635A

    公开(公告)日:2022-08-26

    申请号:CN202180009244.4

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明提供一种导电性组合物,其能够形成具有优异导电性的同时抗蚀剂层的膜损失少的导电膜。本发明的导电性组合物含有导电性聚合物和表面活性剂。所述表面活性剂的临界胶束浓度小于0.1质量%时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为5质量份以上。此外,所述表面活性剂的临界胶束浓度为0.1质量%以上时,相对于所述导电性聚合物100质量份,所述表面活性剂的含量为大于100质量份。

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