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公开(公告)号：CN105143291A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480022671.6
申请日：2014-04-22
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F220/28 , C07C67/26 , C07C69/757 , G03F7/039 , C07B61/00
CPC classification number: G03F7/039 , C07C67/26 , C07C69/757 , C07C2603/74 , C08F220/28 , C08F2220/285 , C08L33/14 , G03F7/0397 , C08F2220/283 , C08F2220/325
Abstract: 本发明提供作为化学增幅抗蚀剂，不损害图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等作为抗蚀剂的基本物性，使感光度、分辨率、线边缘粗糙度(LER)提高的平衡优异的抗蚀剂和化合物。提供以通式(1)～(3)表示的脂环式酯化合物的混合物及其制造方法、通式(1)～(3)的脂环式酯化合物的(甲基)丙烯酸类共聚物及其感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN105934448B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201580006101.2
申请日：2015-01-30
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F20/28 , C07D307/33 , C07D407/12 , G03F7/039
CPC classification number: C08F220/28 , C07C67/28 , C07C69/75 , C07C69/757 , C07C2601/14 , C07D307/33 , C07D307/93 , C08F120/28 , C08F2220/283 , G03F7/039 , G03F7/0397 , C08F2220/1883 , C08F220/20 , C08F2220/1891
Abstract: 本发明提供高灵敏度且均衡性良好而不损害作为化学增幅型抗蚀剂的分辨率、线边缘粗糙度(LER)等基本物性的抗蚀剂和抗蚀剂用化合物。本发明为通式(1)所示的(甲基)丙烯酸酯化合物和其制造方法、将通式(1)的(甲基)丙烯酸酯化合物聚合而得到的(甲基)丙烯酸类共聚物和其感光性树脂组合物。(式中，R1表示氢原子或甲基，R2表示碳数2～4的直链或支链状的烷基，R3表示任选相同或不同的下述式(2)或(3)等所示的基团。)(对于式(2)和(3)，如本申请说明书中所述。)
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公开(公告)号：CN105143291B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201480022671.6
申请日：2014-04-22
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F220/28 , C07C67/26 , C07C69/757 , G03F7/039 , C07B61/00
CPC classification number: G03F7/039 , C07C67/26 , C07C69/757 , C07C2603/74 , C08F220/28 , C08F2220/285 , C08L33/14 , G03F7/0397 , C08F2220/283 , C08F2220/325
Abstract: [课题]本发明提供作为化学增幅抗蚀剂，不损害图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等作为抗蚀剂的基本物性，使感光度、分辨率、线边缘粗糙度(LER)提高的平衡优异的抗蚀剂和化合物。[解决手段]提供以通式(1)～(3)表示的脂环式酯化合物的混合物及其制造方法、通式(1)～(3)的脂环式酯化合物的(甲基)丙烯酸类共聚物及其感光性树脂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105980347B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201580007729.4
申请日：2015-02-12
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07C231/12 , C07C231/02 , C07C235/40 , C08F20/36 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/36 , G03F7/039
CPC classification number: C07C231/12 , C07C231/02 , C07C235/40 , C07C2603/74 , C08F20/36 , C08F220/18 , C08F2220/1808 , C08F2800/20 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供作为化学放大型抗蚀剂的无损图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等基本物性，且提高灵敏度、分辨率、线边缘粗糙度(LER)的平衡良好的抗蚀剂和抗蚀剂用化合物。通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法、通式(1)的脂环式酯化合物、和将其聚合得到的(甲基)丙烯酸系共聚物与其的感光性树脂组合物。一种脂环式酯化合物的制造方法，其特征在于，其为通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法，使通式(2)表示的金刚烷化合物与通式(3)表示的羟基烷基胺反应以制造通式(4)表示的金刚烷酰胺化合物后，使通式(4)的金刚烷酰胺化合物与(甲基)丙烯酸反应。
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公开(公告)号：CN105960419B
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201580006761.0
申请日：2015-02-12
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F20/28 , C07C67/08 , C07C69/757 , G03F7/039
CPC classification number: C07C69/757 , C07C67/08 , C07C2603/74 , C08F220/28 , C08F2220/282 , C08F2220/283 , C09D133/14 , G03F7/0397 , G03F7/162 , G03F7/2059 , G03F7/322 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种新型的脂环族酯化合物以及由通式(2)的化合物和通式(3)的化合物高收率地制造通式(1)的化合物的方法。将脱水缩合剂作为催化剂，使通式(2)所示的金刚烷化合物与通式(3)所示的(甲基)丙烯酸羟烷基酯化合物反应而得到通式(1)所示的脂环族酯化合物。
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公开(公告)号：CN105980347A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580007729.4
申请日：2015-02-12
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C07C231/12 , C07C231/02 , C07C235/40 , C08F20/36 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/36 , G03F7/039
CPC classification number: C07C231/12 , C07C231/02 , C07C235/40 , C07C2603/74 , C08F20/36 , C08F220/18 , C08F2220/1808 , C08F2800/20 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供作为化学放大型抗蚀剂的无损图案形状、耐干蚀刻性、耐热性等基本物性，且提高灵敏度、分辨率、线边缘粗糙度(LER)的平衡良好的抗蚀剂和抗蚀剂用化合物。通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法、通式(1)的脂环式酯化合物、和将其聚合得到的(甲基)丙烯酸系共聚物与其的感光性树脂组合物。一种脂环式酯化合物的制造方法，其特征在于，其为通式(1)表示的脂环式酯化合物的制造方法，使通式(2)表示的金刚烷化合物与通式(3)表示的羟基烷基胺反应以制造通式(4)表示的金刚烷酰胺化合物后，使通式(4)的金刚烷酰胺化合物与(甲基)丙烯酸反应。
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公开(公告)号：CN105960419A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201580006761.0
申请日：2015-02-12
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F20/28 , C07C67/08 , C07C69/757 , G03F7/039
CPC classification number: C07C69/757 , C07C67/08 , C07C2603/74 , C08F220/28 , C08F2220/282 , C08F2220/283 , C09D133/14 , G03F7/0397 , G03F7/162 , G03F7/2059 , G03F7/322 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供一种新型的脂环族酯化合物以及由通式(2)的化合物和通式(3)的化合物高收率地制造通式(1)的化合物的方法。将脱水缩合剂作为催化剂，使通式(2)所示的金刚烷化合物与通式(3)所示的(甲基)丙烯酸羟烷基酯化合物反应而得到通式(1)所示的脂环族酯化合物。
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公开(公告)号：CN105934448A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580006101.2
申请日：2015-01-30
Applicant: 三菱瓦斯化学株式会社
IPC: C08F20/28 , C07D307/33 , C07D407/12 , G03F7/039
CPC classification number: C08F220/28 , C07C67/28 , C07C69/75 , C07C69/757 , C07C2601/14 , C07D307/33 , C07D307/93 , C08F120/28 , C08F2220/283 , G03F7/039 , G03F7/0397 , C08F2220/1883 , C08F220/20 , C08F2220/1891
Abstract: 本发明提供高灵敏度且均衡性良好而不损害作为化学增幅型抗蚀剂的分辨率、线边缘粗糙度(LER)等基本物性的抗蚀剂和抗蚀剂用化合物。本发明为通式(1)所示的(甲基)丙烯酸酯化合物和其制造方法、将通式(1)的(甲基)丙烯酸酯化合物聚合而得到的(甲基)丙烯酸类共聚物和其感光性树脂组合物。(式中，R1表示氢原子或甲基，R2表示碳数2～4的直链或支链状的烷基，R3表示任选相同或不同的下述式(2)或(3)等所示的基团。)(对于式(2)和(3)，如本申请说明书中所述。)
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