有害气体的净化装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1584400A

    公开(公告)日:2005-02-23

    申请号:CN200410058207.0

    申请日:2004-08-17

    Abstract: 本发明涉及一种有害气体的净化装置。其提供一种净化装置,该净化装置可在不采用大型或复杂的结构的情况下,针对从半导体制造步骤排出的有害气体,抑制处理对象有害气体的分解率的降低,以及分解室壁面的粉状物的堆积,长时间地,安全稳定地对该有害气体进行净化处理。一种有害气体的净化装置,其通过燃烧燃料而获得的燃烧排气或火焰,对从半导体制造步骤排出的有害气体进行热分解,对其进行净化处理,其按照将热分解室的侧面作为具有通气性和隔热性的壁,通过该壁,将含氧的气体导入热分解室的方式构成。

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