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公开(公告)号：CN101140035A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200710148791.2
申请日：2006-01-10
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： F16K11/065 , F16K31/06
摘要： 本发明的课题是，通过谋求缩短柱塞的移动距离，来削减磁阻，削减四通电磁阀的驱动以及保持其状态的电功率。其解决方案为，包括：阀主体1，所述阀主体1在一个侧面上设置一个连接口(1a)，同时，在另一个侧面上设置三个连接口(1b)、(1c)、(1d)，在一个连接口(1a)与三个连接口(1b)、(1c)、(1d)之间，在内部形成遍及所述连接口组的整个区域的流通室(R)；柱塞(20)，所述柱塞(20)在阀主体(1)的内部沿着轴向方向移动；滑动阀体(3)，所述滑动阀体(3)连接到上述柱塞(20)上且压接到三个连接口(1b)、(1c)、(1d)上，并且以滑动的方式配置；将滑动阀体(3)经由其连通用凹部(3a)将三个连接口(1b)、(1c)、(1d)中的两个连接口连通，同时，经由流通室(R)使其它的连接口之间连通，同时，三个连接口(1b)、(1c)、(1d)相对于其阀座面呈三角形配置。
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公开(公告)号：CN1166957C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN98116602.4
申请日：1998-07-24
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： G01R1/06738 , G01R1/06755 , G01R3/00
摘要： 本发明揭示一种半导体器件测试用探针及其制造方法和使用它的探针装置，探针前端形状为，按压时在测试点表面上探针前端面的切线与测试点表面形成的角度在15度以上，而且探针前端形成为球状曲面，设其曲率半径为R、测试点厚度为t，当设按压时在测试点表面上探针前端面切线与测试点表面形成的角度为θ时，上述球状曲面为满足θ＝cos-1(1-t/R)≥15°关系的曲率半径R的球状曲面，而且在探针前端设有平坦部分。
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公开(公告)号：CN1807944A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610005839.X
申请日：2006-01-10
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： F16K11/065 , F16K31/06
摘要： 本发明的课题是，通过谋求缩短柱塞的移动距离，来削减磁阻，削减四通电磁阀的驱动以及保持其状态的电功率。其解决方案为，包括：阀主体1，所述阀主体1在一个侧面上设置一个连接口(1a)，同时，在另一个侧面上设置三个连接口(1b)、(1c)、(1d)，在一个连接口(1a)与三个连接口(1b)、(1c)、(1d)之间，在内部形成遍及所述连接口组的整个区域的流通室(R)；柱塞(20)，所述柱塞(20)在阀主体(1)的内部沿着轴向方向移动；滑动阀体(3)，所述滑动阀体(3)连接到上述柱塞(20)上且压接到三个连接口(1b)、(1c)、(1d)上，并且以滑动的方式配置；将滑动阀体(3)经由其连通用凹部(3a)将三个连接口(1b)、(1c)、(1d)中的两个连接口连通，同时，经由流通室(R)使其它的连接口之间连通，同时，三个连接口(1b)、(1c)、(1d)相对于其阀座面呈三角形配置。
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公开(公告)号：CN1213083A
公开(公告)日：1999-04-07
申请号：CN98116602.4
申请日：1998-07-24
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： G01R31/26
CPC分类号： G01R1/06738 , G01R1/06755 , G01R3/00
摘要： 本发明揭示一种半导体器件测试用探针及其制造方法和使用它的探针装置,探针前端形状为,按压时在测试点表面上探针前端面的切线与测试点表面形成的角度在15度以上,而且探针前端形成为球状曲面,设其曲率半径为R、测试点厚度为t,当设按压时在测试点表面上探针前端面切线与测试点表面形成的角度为θ时,上述球状曲面为满足θ=cos－1(1－t/R)≥15°关系的曲率半径R的球状曲面,而且在探针前端设有平坦部分。
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公开(公告)号：CN101189059B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200680019394.9
申请日：2006-06-21
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B01D53/0407 , B01D53/32 , B01D2253/108 , B01D2257/708 , B01D2259/40083 , B01D2259/41 , B01J20/186 , B01J20/28045 , B01J20/3007 , B01J20/3408 , B01J20/3441 , B01J23/38 , Y02A50/235
摘要： 本发明提供的挥发性有机化合物处理装置，不产生大量有害的NOx，可有效地分解VOC，装置成本低廉。该处理装置具有吸附处理室、吸附体再生处理室、和移动机构。在上述吸附处理室中，吸附格框沿气体的流动方向叠层地配置，该吸附格框具有吸附挥发性有机化合物的吸附体。上述吸附体再生处理室中，设置着具有高压电极、接地电极和电介体的放电组件。上述移动机构，使位于气体上游的上述吸附格框移动到上述吸附体再生处理室，使上述吸附体再生处理室内的上述吸附格框，移动到气体的下游方向。
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公开(公告)号：CN100404930C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200610005839.X
申请日：2006-01-10
申请人： 三菱电机株式会社
IPC分类号： F16K11/065 , F16K31/06
摘要： 本发明的课题是，通过谋求缩短柱塞的移动距离，来削减磁阻，削减四通电磁阀的驱动以及保持其状态的电功率。其解决方案为，包括：阀主体1，所述阀主体1在一个侧面上设置一个连接口(1a)，同时，在另一个侧面上设置三个连接口(1b)、(1c)、(1d)，在一个连接口(1a)与三个连接口(1b)、(1c)、(1d)之间，在内部形成遍及所述连接口组的整个区域的流通室(R)；柱塞(20)，所述柱塞(20)在阀主体(1)的内部沿着轴向方向移动；滑动阀体(3)，所述滑动阀体(3)连接到上述柱塞(20)上且压接到三个连接口(1b)、(1c)、(1d)上，并且以滑动的方式配置；将滑动阀体(3)经由其连通用凹部(3a)将三个连接口(1b)、(1c)、(1d)中的两个连接口连通，同时，经由流通室(R)使其它的连接口之间连通，同时，三个连接口(1b)、(1c)、(1d)相对于其阀座面呈三角形配置。
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公开(公告)号：CN101189059A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200680019394.9
申请日：2006-06-21
申请人： 三菱电机株式会社
CPC分类号： B01D53/0407 , B01D53/32 , B01D2253/108 , B01D2257/708 , B01D2259/40083 , B01D2259/41 , B01J20/186 , B01J20/28045 , B01J20/3007 , B01J20/3408 , B01J20/3441 , B01J23/38 , Y02A50/235
摘要： 本发明提供的挥发性有机化合物处理装置，不产生大量有害的NOx，可有效地分解VOC，装置成本低廉。该处理装置具有吸附处理室、吸附体再生处理室、和移动机构。在上述吸附处理室中，吸附格框沿气体的流动方向叠层地配置，该吸附格框具有吸附挥发性有机化合物的吸附体。上述吸附体再生处理室中，设置着具有高压电极、接地电极和电介体的放电组件。上述移动机构，使位于气体上游的上述吸附格框移动到上述吸附体再生处理室，使上述吸附体再生处理室内的上述吸附格框，移动到气体的下游方向。
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