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公开(公告)号：CN104205350A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201280071317.3
申请日：2012-03-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 唐木田升市
IPC: H01L31/0236 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/18 , B23K26/0661 , B23K26/18 , B23K26/388 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2101/38 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , H01L31/02363 , Y02E10/50
Abstract: 具有：形成杂质扩散层的工序；在半导体基板的一面侧形成与杂质扩散层电连接的受光面侧电极的工序；在半导体基板的另一面侧形成背面侧电极的工序；以及在受光面侧电极形成前的任意时间点，在半导体基板的一面侧的表面形成具有倒金字塔形状的凹部的凹凸构造，并且包括保护膜形成工序，在半导体的一面侧形成保护膜；第1加工工序，利用加工处理效率相对高的方法，在保护膜形成接近所希望的开口形状、比作为目标的开口尺寸小的多个第1开口部；第2加工工序，利用加工处理精度相对高的方法，扩大第1开口部到作为目标的开口尺寸为止，在保护膜形成第2开口部；以及蚀刻工序，经由第2开口部，进行第2开口部的下部区域的半导体基板的各向异性湿法蚀刻，从而在半导体基板的一面侧形成倒金字塔形状的构造。
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公开(公告)号：CN104205350B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201280071317.3
申请日：2012-03-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 唐木田升市
IPC: H01L31/0236 , H01L31/18
CPC classification number: H01L31/18 , B23K26/0661 , B23K26/18 , B23K26/388 , B23K26/389 , B23K26/40 , B23K2101/38 , B23K2101/40 , B23K2103/50 , H01L31/02363 , Y02E10/50
Abstract: 具有：在受光面侧电极形成前的任意时间点，在半导体基板的一面侧的表面形成具有倒金字塔形状的凹部的凹凸构造，并且包括保护膜形成工序，在半导体的一面侧形成保护膜；第1加工工序，利用加工处理效率相对高的方法，在保护膜形成接近所希望的开口形状、比作为目标的开口尺寸小的多个第1开口部；第2加工工序，利用加工处理精度相对高的方法，扩大第1开口部到作为目标的开口尺寸为止，在保护膜形成第2开口部；以及蚀刻工序，经由第2开口部，进行第2开口部的下部区域的半导体基板的各向异性湿法蚀刻，从而在半导体基板的一面侧形成倒金字塔形状的构造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101088167B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200580017453.4
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0504 , Y02E10/50
Abstract: 通过具备光电变换层、在上述光电变换层的一个面一侧设置的第一电极、在上述光电变换层的另一个面一侧设置的第二电极以及在上述光电变换层的另一个面一侧在上述光电变换层的面内方向上其外缘部与上述第二电极交叠、同时将其角部作成圆角部、设置成大致四角形状并用于从上述第二电极取出输出的第三电极，得到有效地防止了与上述第二电极交叠地设置的上述第三电极的剥离的太阳能电池单元。
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公开(公告)号：CN101088167A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200580017453.4
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0504 , Y02E10/50
Abstract: 通过具备光电变换层、在上述光电变换层的一个面一侧设置的第一电极、在上述光电变换层的另一个面一侧设置的第二电极以及在上述光电变换层的另一个面一侧在上述光电变换层的面内方向上其外缘部与上述第二电极交叠、同时将其角部作成圆角部、设置成大致四角形状并用于从上述第二电极取出输出的第三电极，得到有效地防止了与上述第二电极交叠地设置的上述第三电极的剥离的太阳能电池单元。
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公开(公告)号：CN101901846A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010128659.7
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/042 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 通过具备光电变换层、在上述光电变换层的一个面一侧设置的第一电极、在上述光电变换层的另一个面一侧设置的第二电极以及在上述光电变换层的另一个面一侧在上述光电变换层的面内方向上其外缘部与上述第二电极交叠、同时将其角部作成圆角部、设置成大致四角形状并用于从上述第二电极取出输出的第三电极，得到有效地防止了与上述第二电极交叠地设置的上述第三电极的剥离的太阳能电池单元。
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公开(公告)号：CN100490183C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200580013772.8
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 太阳能电池单元，包括光电变换衬底(10)、在上述衬底的一个面一侧设置的第一电极(21)、在上述衬底的另一个面一侧设置的第二电极(17)以及在上述衬底的另一个面一侧设置的第三电极(19)。上述第三电极从上述第二电极取出电力并且在沿着上述光电变换衬底的面的方向在其外缘部与上述第二电极交叠。上述第二电极的厚度比上述第三电极的厚度厚并且上述第二电极的厚度与上述第三电极的厚度之差大于等于10μm、小于等于30μm。
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公开(公告)号：CN101107719A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200580013772.8
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224
CPC classification number: H01L31/022425 , Y02E10/50
Abstract: 在具备具有光电变换功能的衬底、在上述衬底的一个面一侧设置的第一电极、在上述衬底的另一个面一侧设置的第二电极、以及在上述衬底的另一个面一侧在上述衬底的面内方向上其外缘部与上述第二电极交叠地设置的、用于从上述第二电极取出输出的第三电极的太阳能电池单元中，通过使上述第二电极的厚度比上述第三电极的厚度厚且使上述第二电极的厚度与上述第三电极的厚度之差大于等于10μm、小于等于30μm，得到有效地防止了电极剥离(合金剥离)的太阳能电池单元。
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