公开(公告)号：CN112640080B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN201880096988.2

申请日：2018-09-06

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 堀浩一郎 ,  小崎亨 ,  山田亘

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/673

摘要： 定位部件(30)是固定于基台(3)并且将托架(4)定位于基台(3)的托架的定位部件，托架(4)将多个板状装载物(5)以表面或者背面与基台(3)对置的方式进行收纳。定位部件(30)具备：两个前侧限位器(2)，它们与托架(4)的开口(45)的端部亦即两个开口边缘部(7)接触，来限制托架(4)向前侧的移动；和两个后侧限位器(1)，它们与形成于托架(4)的后侧的两个板状端部(6)接触，来限制托架(4)向后侧的移动以及向与基台(3)垂直的方向的移动。

公开(公告)号：CN112640080A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201880096988.2

申请日：2018-09-06

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 堀浩一郎 ,  小崎亨 ,  山田亘

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L21/673

摘要： 定位部件(30)是固定于基台(3)并且将托架(4)定位于基台(3)的托架的定位部件，托架(4)将多个板状装载物(5)以表面或者背面与基台(3)对置的方式进行收纳。定位部件(30)具备：两个前侧限位器(2)，它们与托架(4)的开口(45)的端部亦即两个开口边缘部(7)接触，来限制托架(4)向前侧的移动；和两个后侧限位器(1)，它们与形成于托架(4)的后侧的两个板状端部(6)接触，来限制托架(4)向后侧的移动以及向与基台(3)垂直的方向的移动。