公开(公告)号：CN102959719A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201180030522.0

申请日：2011-05-17

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 秋保悠平 ,  山根司 ,  西宫立享

IPC: H01L31/04

CPC classification number: H01L31/076 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/186 ,  H01L31/208 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种能够通过简单的处理工序提高光电转换装置的输出的制造方法。一种光电转换装置（100）的制造方法，包括：在基板（1）上形成第一发电元件层（91）的工序；在该第一发电元件层（91）上形成中间接触层（5）的工序；在该中间接触层（5）上形成第二发电元件层（92）的工序，其中，包括如下工序中的至少一个工序：在形成了所述第一发电元件层（91）之后，将所述基板（1）在大气中以室温保持5小时以上且25小时以下；在形成了所述中间接触层（5）之后，将所述基板（1）在大气中以室温保持20小时以上且50小时以下。