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公开(公告)号：CN102332351B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201110279041.5
申请日：2011-09-20
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出信号，上电极作为公用电极，每个独立的电极单元与公用上电极构成四个独立的电容，每个电容的等效面积为已经等分好的扇形面积。微电容是通过微加工工艺来实现的，在不增加工艺复杂程度的同时，制作出高灵敏度的适合微纳米测量的微可变电容，并且能够和市场上很多微纳米测量探针集成，整合到微纳米测量设备中。该电容不但适合轴向测量，也适合横向测量，微可变电容与探针集成可以实现微纳米3D测量。
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公开(公告)号：CN102412800A
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201110388373.7
申请日：2011-11-29
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明公开一种电可调式RLC串、并联MEMS谐振器，包括：可变电阻，可变电感以及固定电容。可变电阻由多匝线圈组成，在每一个线圈都引出信号线，所述的可变电感采用螺旋形结构，螺旋结构采用矩形截面，每个螺旋单元分为两层，上层斜梁通过支撑柱子与下层横梁保持悬空和电连接，上层斜梁和上层横梁构成一个线圈，电感由多匝线圈构成，每个单元都引出信号传输线。电容由上电极和下电极，上电极通过柱子与下电极保持悬空，电极和柱子之间通过横梁来连接，下电极和上电极分别引出信号传输线。本发明在不增加工艺复杂程度的同时通过MEMS工艺来加工完成，通过减小电阻丝的匝数和电感线圈的匝数来实现电阻和电感变化。
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公开(公告)号：CN102435773A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110298158.8
申请日：2011-09-28
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。
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公开(公告)号：CN102386021A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110314570.4
申请日：2011-10-17
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H01H59/00
摘要： 一种微机械电容式双向开关，包括一个上电极和两个下电极，长横梁和短竖梁交叉形成“十”字型上电极，通过柱子和弹簧与两个下电极保持悬空，弹簧一端与上电极相连，另一端与焊盘相连，弹簧除了有柔性支撑的作用外，还有信号传输的作用。两个下电极保持绝缘。长横梁与两个下电极形成两个电容。一个电容在电压的驱动之下，使上下两个电极接触，形成短路，相当于一个开关闭合，另一个开关断开，这样可以实现一开一闭。另一个电容在电压的驱动之下，也可以闭合，同时也可以实现两闭的效果。本发明结构简单，适应性强，只需要低电压即可驱动实现双向开关功能，制作工艺简单，图形化操作实现了复杂的弹簧结构，且易于封装，成本低。
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公开(公告)号：CN102435773B
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201110298158.8
申请日：2011-09-28
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01P15/125
摘要： 一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。
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公开(公告)号：CN102332351A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110279041.5
申请日：2011-09-20
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出信号，上电极作为公用电极，每个独立的电极单元与公用上电极构成四个独立的电容，每个电容的等效面积为已经等分好的扇形面积。微电容是通过微加工工艺来实现的，在不增加工艺复杂程度的同时，制作出高灵敏度的适合微纳米测量的微可变电容，并且能够和市场上很多微纳米测量探针集成，整合到微纳米测量设备中。该电容不但适合轴向测量，也适合横向测量，微可变电容与探针集成可以实现微纳米3D测量。
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公开(公告)号：CN202947920U
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201220347180.7
申请日：2012-07-17
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01N1/36
摘要： 本实用新型公开一种连续精确调整微型零件位置的装置，包括微调架、位于所述微调架上方的进给底座、位于所述进给底座上的进给支架、位于所述进给支架前端的进给夹具以及位于所述进给夹具试样台上的挡板。其中：所述微调架可以在微米量级下调整试样上下前后左右的位移，其底部和顶部设有定位孔，底部定位孔便于将整个装置固定在实验平台上，顶部定位孔可以将所述进给底座固定在微调架上；所述进给底座包含导轨和限位装置。本实用新型结构简单，操作方便，定位准确并有效保护了试样的完整和安全，提高了实验效率。
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