公开(公告)号：CN1169706C

公开(公告)日：2004-10-06

申请号：CN02111234.7

申请日：2002-04-02

申请人： 上海交通大学

发明人： 张琛 ,  贾书海 ,  赵小林 ,  冯建智 ,  王莉

IPC分类号： B81B7/02 ,  G02B6/35

摘要： 电磁型微驱动器驱动的微光开关属于光开关领域。本发明包括：电磁型微驱动器、平面镜、连杆、基板、档板和平衡块，平面镜设置在连杆的一端上，连杆穿过微驱动器的转动部分后，在其另一端上设置平衡块，连杆的两侧设置档板。本发明具有实质性特点和显著进步，微细加工技术使光开关的整体体积很小，精密装配技术使平面镜可以在较大范围内移动，因此光开关的总体功耗很小。

公开(公告)号：CN1387058A

公开(公告)日：2002-12-25

申请号：CN02111708.X

申请日：2002-05-16

申请人： 上海交通大学

发明人： 张琛 ,  冯建智 ,  王莉

IPC分类号： G02B6/26 ,  G02B6/35 ,  H04Q3/52

摘要： N×M阵列式光开关属于光通信领域。本发明主要包括:微型马达、驱动轮、钢丝、张紧轮、滑块、导轨和反射镜,其连接方式为:微型马达与驱动轮相连,带动驱动轮转动,钢丝上的一点定位在驱动轮上,钢丝由张紧轮张紧,在张紧轮和驱动轮之间往复运动,滑块固定在钢丝上,钢丝带动滑块沿导轨滑动,反射镜固定在滑块上。整个N×M阵列光开关由N个1×M光开关单元构成,其中M≥N,每个1×M光开关单元含有一个反射镜和一个驱动系统,每个反射镜对应于一路输入光路,每个反射镜有M个位置状态,分别对应于M个输出光路。本发明具有实质性特点和显著进步,光开关阵列整体体积较小,非常适合应用于较大规模的阵列式光开关中。

公开(公告)号：CN102435773B

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201110298158.8

申请日：2011-09-28

申请人： 上海交通大学

发明人： 汪红 ,  何明轩 ,  刘瑞鸿 ,  冯建智 ,  陈欣 ,  丁桂甫 ,  赵小林

IPC分类号： G01P15/125

摘要： 一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。

公开(公告)号：CN1186661C

公开(公告)日：2005-01-26

申请号：CN02111708.X

申请日：2002-05-16

申请人： 上海交通大学

发明人： 张琛 ,  冯建智 ,  王莉

IPC分类号： G02B6/35 ,  H04Q3/52

摘要： 一种N×M阵列式光开关，属于光通信领域。由N个1×M光开关单元构成，其中每个1×M光开关单元包括：微型马达、驱动轮、钢丝、张紧轮、滑块、导轨和反射镜，其特征在于连接方式为：微型马达与驱动轮相连，带动驱动轮转动，钢丝上的一点定位在驱动轮上，钢丝由张紧轮张紧，在张紧轮和驱动轮之间往复运动，滑块固定在钢丝上，由钢丝带动滑块沿导轨滑动，反射镜固定在滑块上，整个N×M阵列光开关M≥N，每个反射镜有M个位置状态，分别对应于M个输出光路。本发明易于集成化生产和流水作业，光开关阵列整体体积较小，电磁驱动和滑动系统的结构紧凑，易于控制，工作寿命长，同时具有光路短、插入损耗低、隔离度高、重复性好、成本较低等优点。

公开(公告)号：CN102435773A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201110298158.8

申请日：2011-09-28

申请人： 上海交通大学

发明人： 汪红 ,  何明轩 ,  刘瑞鸿 ,  冯建智 ,  陈欣 ,  丁桂甫 ,  赵小林

IPC分类号： G01P15/125

摘要： 一种用于单轴精密加速度计的差分微电容及其制备方法，所述微电容包括上电极、可动电极、下电极，上电极和可动电极通过柱子与下电极保持悬空，上下电极均采用等位环保护，可动电极通过柱子悬空且采用弹簧作为柔性支撑，上下电极和可动电极均采用圆形电极，每个电极均有信号引出接入到信号电路中，可动电极和上下电极分别组成两个差分电容。差分微电容采用标准的MEMS工艺中的光刻、溅射、电镀、腐蚀等技术来实现的。上电极和可动电极的悬空采用牺牲层技术来实现的。本发明中，三个电极构成差分电容，工作时，一个电容值增大，另一个电容值等值减小，通过信号处理，输出值直接反映了检测量的大小，达到检测加速度的目的。

公开(公告)号：CN102139138A

公开(公告)日：2011-08-03

申请号：CN201110068809.4

申请日：2011-03-22

申请人： 上海交通大学

发明人： 刘景全 ,  闫肖肖 ,  杨春生 ,  冯建智 ,  芮岳峰

IPC分类号： A61M37/00 ,  G03F7/00

CPC分类号： A61M37/0015 ,  A61M2037/0046 ,  A61M2037/0053

摘要： 一种生物医学工程技术领域的实心金属微针阵列的制备方法，首先在硅片上溅射种子层，接着在种子层上甩光刻胶并光刻开出电镀孔阵列，然后在电镀孔阵列中电镀金属得到金属块阵列并用切片机夹持斜面刀具切割电镀的金属块阵列，最后去除光刻胶得到斜顶金属微针阵列。本发明制备得到尖锐的斜顶金属微针阵列，此微针阵列具有很好的强度及韧性，易于刺入皮肤。同时本发明制备过程简单，采用光刻和机械加工结合的方法制备此微针阵列，工艺简单，成本低且便于普及。

公开(公告)号：CN1371860A

公开(公告)日：2002-10-02

申请号：CN02111234.7

申请日：2002-04-02

申请人： 上海交通大学

发明人： 张琛 ,  贾书海 ,  赵小林 ,  冯建智 ,  王莉

IPC分类号： B81B7/02

摘要： 电磁型微驱动器驱动的微光开关属于光开关领域。本发明主要包括:电磁型微驱动器、平面镜、连杆、基板、档板和平衡块,平面镜通过连杆与电磁型微驱动器连接在一起,在连杆的另一端设置平衡块,连杆的两侧设置档板。本发明具有实质性特点和显著进步,微细加工技术使光开关的整体体积很小,精密装配技术使平面镜可以在较大范围内移动,因此光开关的总体功耗很小。