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公开(公告)号：CN118642226A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410750648.4
申请日：2024-06-12
申请人： 上海交通大学 , 武汉恩睿捷光电技术有限公司
摘要： 一种基于纳米压印的硅光亚波长光栅制备方法，采用电子束曝光、电感耦合反应离子刻蚀技术制成压印模板后，将经抗粘处理的压印模板进行纳米压印得到反相凹模，再在旋涂有压印胶的基底上采用反相凹模进行压印，经紫外固化、脱模和去残胶后得到与硅光亚波长光栅。本发明通过压印最小可以达到45nm的线宽的同时，有效避免压印脱模时脱胶，图像形貌受损情况，进而保证母版的图像全部转移到衬底。
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公开(公告)号：CN118642223A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410754191.4
申请日：2024-06-12
申请人： 上海交通大学 , 武汉恩睿捷光电技术有限公司
摘要： 一种氮化硅‑锆钛酸铅微环及其制造方法，包括：设置于二氧化硅层上的锆钛酸铅薄膜以及在锆钛酸铅薄膜上异质集成的氮化硅波导，该氮化硅波导为微环波导与耦合波导组成的微环谐振器。本发明在利用锆钛酸铅高电光系数的同时实现氮化硅波导的低损耗传输。
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公开(公告)号：CN117930429A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202211265865.1
申请日：2022-10-17
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种硅‑碳化硅结构混合波导及其制备方法，制备得到的波导由上而下依次包括：氧化硅包层、硅波导层、碳化硅层、氧化硅掩埋层和硅衬底，该混合波导核心为：硅波导层、氧化硅包层和用于传输TE模或TM模的碳化硅层。本发明充分利用碳化硅材料的优良特性，通过离子切割和层转移技术制备，无需离子注入工艺，因此本发明的工艺与CMOS兼容。通过将光模场局限在碳化硅中使得其优良的光电学特性得以利用在传输过程中，碳化硅材料的优良特性可以克服传统硅的部分限制，并且与微电子CMOS工艺相兼容，制备过程较简单。
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公开(公告)号：CN113777709B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202111059131.3
申请日：2021-09-10
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种基于片上集成麦克斯韦半鱼眼透镜的超宽带模斑转换器，包括：片上集成的麦克斯韦半鱼眼透镜、设置于麦克斯韦半鱼眼透镜圆心一侧的过渡区以及硅波导，该硅波导包括：第一波导和第二波导，其中：第一波导作为输入端设置于过渡区的外侧，第二波导作为输出端位于麦克斯韦半鱼眼透镜相对过渡区的圆周一侧。本发明通过优化麦克斯韦半鱼眼透镜梯度折射的结构，不仅减小了透镜尺寸，而且与硅波导集成，实现不同宽度波导中的模斑尺寸匹配。
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公开(公告)号：CN111352284B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202010360888.5
申请日：2020-04-30
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G02F1/35
摘要： 一种基于无源纳米梁谐振腔的光子神经元实现方法及装置，将纳米梁谐振腔设置于用于传输泵浦光信号的总线波导和用于传输微扰光信号的信号波导之间并同时与总线波导和信号波导耦合，通过施加微扰脉冲光信号刺激纳米梁谐振腔表现出非线性行为，进而模拟生物神经元对外界刺激的典型响应。本发明利用纳米梁谐振腔的非线性行为实现脉冲神经元典型的受激响应，在仅消耗数微瓦功率的情况下能以吉赫兹速度工作，与传统互补金属氧化物半导体工艺兼容，具有结构简单、超低功耗、超紧凑、易于大规模集成的优势。
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公开(公告)号：CN112241047B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202011208110.9
申请日：2020-11-03
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种基于片上集成龙柏透镜的超宽带模斑转换器，包括：龙柏透镜以及设置于其上的硅波导、输入端和输出端，其中：输入端和输出端分别设置于龙柏透镜两侧；硅波导包括：第一波导和第二波导。的第一波导的宽度大于第二波导的宽度。龙柏透镜的结构为上下包层均为SiO2的硅超材料层。龙柏透镜具有径向的占空比分布，本发明通过片上集成的龙柏透镜的梯度折射率的超材料结构获得所需的折射率分布，并与硅波导集成，从而实现不同宽度波导中的模斑尺寸匹配，具有非常大的宽带，尺寸小，损耗低。
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公开(公告)号：CN108803032B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201810537720.X
申请日：2018-05-29
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明提供一种反射式增强现实显示系统及设备，包括图像源模块，用于生成虚拟图像信息；偏振切换模块，用来改变入射光的偏振性；虚实合成模块，包括至少一个液晶膜片，用于反射透过所述偏振切换模块时具有特定偏振特点的虚拟图像进入人眼，所述虚实合成模块的另一侧为外界自然光，可直接透过至人眼内。一种反射式增强现实显示设备，包括一头盔支架，以及设置在所述头盔支架上的图像源模块、偏振切换模块以及虚实合成模块，所述虚实合成模块设置在所述图像源模块、所述偏振切换模块以及眼睛的前方，所述反射式增强现实显示设备还包括一电池组，用于为所述图像源模块以及所述图像源模块、偏振切换模块以及所述虚实合成模块提供电能。
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公开(公告)号：CN111562650A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010498229.8
申请日：2020-06-04
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种基于双三叉戟亚波长光栅结构的端面耦合器，包括：位于衬底层且对称设置的三个锥形亚波长光栅、三个亚波长光栅波导、若干用于模式转换的锥形波导和直波导，其中：锥形亚波长光栅和对应的亚波长光栅波导相连，锥形波导位于亚波长光栅波导之间，用于光在芯片上传输的直波导及其对应的锥形波导位于端面耦合器的输出端，具有低损耗、大带宽的特点，除了易于制备且与CMOS工艺兼容的同时，还能够实现单模光纤和硅波导之间的高效耦合。
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公开(公告)号：CN111200464A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN201811363538.3
申请日：2018-11-16
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： H04B10/516
摘要： 一种基于双MZM的信号与载波相位对齐的SSB信号生成方法，通过将发射端的IQ调制器中的两个MZM的偏置点分别设置于正交点和零点，并采用调制信号驱动偏置于正交点的MZM、采用调制信号的希尔伯特变换信号驱动偏置于零点的MZM，从而使得发射端获得与光载波相位对齐，即光载波与信号的矢量表示始终处于一条直线上的SSB信号；本发明在没有DSP或者额外的光滤波器条件下只通过调整IQ调制器中一个MZM的偏置点在实现了产生载波与信号相位对齐的单边带幅度调制信号，显著地提升了系统的误码性能。
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