一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110849508A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911197326.7

    申请日:2019-11-29

    摘要: 本发明公开了一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法,包括:柔性基底;下层电极,所述下层电极设置在所述柔性基底之上;触点阵列,所述触点阵列形成在下层电极之上并与所述下层电极电接触;支撑侧壁及延伸电极层,所述支撑侧壁设置在所述下电极的周围,并且与下电极电隔离;以及悬空网状电极,所述悬空网状电极形成在支撑侧壁上,并通过延伸电极引出,其中在未受外部作用力的情况下,所述悬空网状电极与所述触点阵列间隔开特定距离。本发明导电填料纳米石墨颗粒能均匀分散在PI中,且形成的复合材料具有良好的导电性能和机械性能。本发明具有制备工艺简单、反应灵敏,量程大和成本低的特点。

    一种操纵微流体的微泵
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109322817B

    公开(公告)日:2019-07-26

    申请号:CN201811509433.4

    申请日:2018-12-11

    IPC分类号: F04B43/02 F04B43/04 F04B53/10

    摘要: 本发明公开了一种操纵微流体的微泵,包括:泵体,所述泵体包括底部薄膜、侧壁和顶部;振动发生装置,所述振动发生装置附连到泵体的底部薄膜的下表面上;桨叶,所述桨叶设置在所述底部薄膜的上表面,包括开口端和与开口端反向的后端;以及单向阀,所述单向阀设置在所述开口端的前方。振动发生装置产生随机振动,带动流道内的微桨叶做周期性振动,由于桨叶结构的特殊性会在流道内引起压差驱动水流动,在单向阀的辅助作用下能够定向驱动流体。这种振动发生装置没有介入微流体系统内的无源工作机制,避免了传统位移式振动泵的功耗大、工作电压高、发热严重等问题,不会干扰泵体工作效率,同时在随机振动下可定向驱动流体。由于采用3D打印一体成型工艺,不仅极大的降低了制备周期,而且打破了复杂三维桨叶成型的限制。

    一种操纵微流体的微泵
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109322817A

    公开(公告)日:2019-02-12

    申请号:CN201811509433.4

    申请日:2018-12-11

    IPC分类号: F04B43/02 F04B43/04 F04B53/10

    摘要: 本发明公开了一种操纵微流体的微泵,包括:泵体,所述泵体包括底部薄膜、侧壁和顶部;振动发生装置,所述振动发生装置附连到泵体的底部薄膜的下表面上;桨叶,所述桨叶设置在所述底部薄膜的上表面,包括开口端和与开口端反向的后端;以及单向阀,所述单向阀设置在所述开口端的前方。振动发生装置产生随机振动,带动流道内的微桨叶做周期性振动,由于桨叶结构的特殊性会在流道内引起压差驱动水流动,在单向阀的辅助作用下能够定向驱动流体。这种振动发生装置没有介入微流体系统内的无源工作机制,避免了传统位移式振动泵的功耗大、工作电压高、发热严重等问题,不会干扰泵体工作效率,同时在随机振动下可定向驱动流体。由于采用3D打印一体成型工艺,不仅极大的降低了制备周期,而且打破了复杂三维桨叶成型的限制。

    一种单一阀门控制和驱动的微泵

    公开(公告)号:CN110345050B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201910643813.5

    申请日:2019-07-17

    IPC分类号: F04B43/04 F04B53/10

    摘要: 本发明公开了一种单一阀门控制和驱动的微泵,包括:变化磁场产生装置,设置在管道的外壁并产生变化的电磁场;弹性膜,所述弹性膜的外周形状与管道的内壁截面形状相同,并密封固定在管道的内壁上;中心带有开口的磁性板,所述磁性板固定在弹性膜的中部,所述磁性板的周边与弹性膜相连,磁性板的开口未被弹性膜覆盖;以及阀片,所述阀片固定在所述磁性板上并覆盖磁性板的开口。本发明的结构非常简单,只需要在弹性膜上集成磁性板和阀片,就可以实现微泵的功能。由于采用电磁驱动这一外源驱动方式,不会干扰内部流体的流动,同时可以控制磁场的强度和频率来控制微泵的工作性能,这种驱动方式具有很强的可控性。

    一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110849508B

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN201911197326.7

    申请日:2019-11-29

    摘要: 本发明公开了一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法,包括:柔性基底;下层电极,所述下层电极设置在所述柔性基底之上;触点阵列,所述触点阵列形成在下层电极之上并与所述下层电极电接触;支撑侧壁及延伸电极层,所述支撑侧壁设置在所述下电极的周围,并且与下电极电隔离;以及悬空网状电极,所述悬空网状电极形成在支撑侧壁上,并通过延伸电极引出,其中在未受外部作用力的情况下,所述悬空网状电极与所述触点阵列间隔开特定距离。本发明导电填料纳米石墨颗粒能均匀分散在PI中,且形成的复合材料具有良好的导电性能和机械性能。本发明具有制备工艺简单、反应灵敏,量程大和成本低的特点。

    一种单一阀门控制和驱动的微泵

    公开(公告)号:CN110345050A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201910643813.5

    申请日:2019-07-17

    IPC分类号: F04B43/04 F04B53/10

    摘要: 本发明公开了一种单一阀门控制和驱动的微泵,包括:变化磁场产生装置,设置在管道的外壁并产生变化的电磁场;弹性膜,所述弹性膜的外周形状与管道的内壁截面形状相同,并密封固定在管道的内壁上;中心带有开口的磁性板,所述磁性板固定在弹性膜的中部,所述磁性板的周边与弹性膜相连,磁性板的开口未被弹性膜覆盖;以及阀片,所述阀片固定在所述磁性板上并覆盖磁性板的开口。

    一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN109798995A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201910043944.X

    申请日:2019-01-17

    IPC分类号: G01K7/02

    摘要: 本发明提出一种柔性高灵敏度薄膜热电堆型热流传感器及制备方法,包括:柔性基底、热电堆薄膜、热阻层,柔性基底的上方设置多对热电偶,多对热电偶首尾搭接形成热电堆薄膜,热电偶的两个电极连接处以及相邻热电偶的连接处为热电堆结点,热电堆薄膜上方设置热阻层,热电阻层覆盖于部分热电堆结点的上方,使热电堆薄膜上形成间隔分布的冷结点和热结点,其中,冷结点为被热阻层覆盖的热电堆结点,热结点为未被热阻层覆盖的热电堆结点;当外部环境在传感器上施加垂直方向热流时,冷结点和热结点形成温度差,通过热电堆输出相应电势,从而实现对热流密度的瞬态测量。本发明能实现对热流密度的瞬态测量,具有灵敏度高,结构简单,制备成本低的特点。