氙灯准分子紫外光氧化真空设备及其使用方法

    公开(公告)号:CN107546100A

    公开(公告)日:2018-01-05

    申请号:CN201610473918.7

    申请日:2016-06-24

    IPC分类号: H01J61/16 H01J61/28

    摘要: 本发明提供的一种氙灯准分子紫外光氧化真空设备及其使用方法,包括:真空腔室,在真空腔室内设有控制机构;氙灯准分子放电管,氙灯准分子放电管设置在真空腔室内部,在氙灯准分子放电管内设有水冷装置,氙灯准分子放电管与控制机构连接;样品架,样品架从外侧穿过真空腔室的底部进入真空腔室内部,并且样品架与氙灯准分子放电管平行;氧气入口、氮气入口及排气口,氧气入口、氮气入口及排气口设置在真空腔室的侧壁上,氧气入口、氮气入口及排气口与真空腔室的内腔连通;控制系统设置在真空腔室上。与现有技术相比,本发明的有益效果如下:采用氙灯准分子放电管,其发射172nm波长的紫外光,通过调控真空腔室内氧气含量,即可在常温下对材料表面实现高强度紫外光氧化。

    一种非线性q-plate器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN113985680B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN202111253200.4

    申请日:2021-10-27

    IPC分类号: G02F1/35

    摘要: 本申请公开了一种非线性q‑plate器件。该非线性q‑plate器件的制作方法包括:选取任意一种非线性晶体,在相位匹配条件下按照特定旋转对称方式切割成n份片,将n份非线性晶体按特定顺序旋转拼接,拼接完成后将各片用粘合剂粘合,最后经打磨抛光制作而成。根据每份片切割时旋转对称方式不同,可实现不同拓扑荷数(q值)的非线性q‑plate器件。本申请能够在单一器件中同步实现非线性矢量光束的产生和非线性自旋‑轨道角动量转换。实验光路简单、调节灵活、转换效率高。

    一种可在1550nm波长附近工作的光子晶体微腔

    公开(公告)号:CN113433759B

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN202110612373.4

    申请日:2021-06-02

    IPC分类号: G02F1/35

    摘要: 本发明公开了一种可在1550nm波长附近工作的光子晶体微腔,涉及光信息处理技术领域,由多个A型微腔单元、多个B型微腔单元、多个C型微腔单元密铺而成,整体成二维矩形阵列布置,多个所述C型微腔单元构成三角区域,所述A型微腔单元位于所述三角区域的外侧,所述B型微腔单元位于所述三角区域的内侧,并由铌酸锂薄膜刻蚀正三棱台空气孔而成。本发明提供的可在1550nm波长附近工作的光子晶体微腔可在通讯波段工作,在1550nm波长附近的第三谐振模的谐振波长不随特定外加缺陷的加入而发生偏移,不会有新的谐振模产生,具有高稳定性,可应用于二次谐波、三次谐波产生及和频差频等其它非线性过程。

    一种基于铌酸锂Y波导集成光学器件的电光偏振调制器

    公开(公告)号:CN112578581B

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202011460741.X

    申请日:2020-12-11

    IPC分类号: G02F1/01 G02F1/03

    摘要: 本发明公开了一种基于质子交换型铌酸锂Y波导集成光学器件的电光偏振调制器,涉及光电子技术和光通信领域,包括质子交换型铌酸锂Y波导集成光学器件和光纤偏振光束合束器,所述质子交换型铌酸锂Y波导集成光学器件包括第一保偏光纤和铌酸锂晶体,所述光纤偏振光束合束器包含第二保偏光纤,第三保偏光纤和第四保偏光纤;所述铌酸锂晶体包括铌酸锂晶体层、铌酸锂Y波导、金属电极和绝缘介质保护层,所述Y波导置于所述铌酸锂晶体层中,在所述Y波导分支的两侧覆盖所述金属电极,且所述绝缘介质保护层满布于所述铌酸锂Y波导和所述金属电极周围。本发明利用电光效应,实现电信号对光偏振态的调制,便于将电信号加载到光的指定偏振态,进行偏振编码。

    利用紫外光氧化实现和调控石墨烯薄膜图案化的方法

    公开(公告)号:CN107611020A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201610546722.6

    申请日:2016-07-12

    IPC分类号: H01L21/027

    摘要: 本发明提供了一种利用紫外光氧化实现和调控石墨烯薄膜图案化的方法,包括:步骤1:利用氙灯准分子紫外光氧化方法和硬质掩膜版实现石墨烯薄膜微米结构图形图案化;步骤2:通过在石墨烯薄膜表面施加垂直方向的非均匀性磁场,控制氧激子沿磁场方向向石墨烯薄膜运动,增强其沿垂直方向对石墨烯薄膜刻蚀的方向性,提高石墨烯薄膜微米结构图案化质量;步骤3:通过调节磁场的强度和方向(譬如沿水平方向),控制氧激子运动的方向性,调控刻蚀石墨烯薄膜图形结构的形状,达到调控石墨烯薄膜图案化目的。本发明中的方法能够实现和调控微米图形结构阵列,适宜于大面积石墨烯薄膜图案化、无光刻胶污染、成本较低、且图案化石墨烯薄膜质量高。

    基于畴壁非线性的脉冲自相关测量方法及测量装置

    公开(公告)号:CN103698025B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201310744145.8

    申请日:2013-12-30

    IPC分类号: G01J11/00

    摘要: 一种测量光脉冲特性领域的基于畴壁非线性的脉冲自相关测量方法及测量装置,通过将待测光束分为两束,其中一束光经过延迟后两束光聚焦于周期极化非线性铁电晶体的畴壁上,从而产生相应的切伦科夫辐射倍频,两路切伦科夫辐射倍频的时域重叠部分产生自相关信号,调整其中一束光的延迟量,测量该自相关信号的变化与该延迟量的变化之间的关系,得到自相关曲线,从而获得待测光束的脉冲时域宽度。本发明提高了非线性转化效率,产生更强的自相关信号。

    紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性真空设备及其使用方法

    公开(公告)号:CN103337450B

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201310242512.4

    申请日:2013-06-18

    IPC分类号: H01L21/02

    摘要: 本发明公开了一种紫外光/臭氧表面清洗和氧化改性真空设备,包括真空腔室、紫外光源、水冷系统、样品架、真空系统和气压监控系统。真空腔室的内层为高反射铝板,外层为不锈钢加强筋。真空腔室内部顶端固定紫外光源的紫外灯管,紫外灯管的上部置有水冷系统。样品架位于紫外灯管正下方,其高度连续可调。真空腔室置有真空系统,以快速有效排空紫外光化学反应前腔室内的空气以及反应结束后腔室内的气体。真空腔室还置有气压监控系统以有效控制光化学反应时腔内初始氧气压强。本发明能有效排除光化学反应前后腔室内气体,监控腔室内气体压强,从而增强对反应过程的可控性,并有效节约气体使用量,这在材料表面清洗及氧化改性方面具有重要的应用价值。

    一种电光隔离器及其制作方法

    公开(公告)号:CN103135261B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201310102882.8

    申请日:2013-03-27

    IPC分类号: G02F1/03

    摘要: 本发明公开了一种电光隔离器及其制作方法。选用铌酸锂晶体材料,根据室温下的位相匹配条件计算出铌酸锂晶体的周期;根据此周期,对晶片进行室温电场极化,在晶体的一端切除1.5个畴,得到具有偶数个完整畴加一个不完整畴的周期极化铌酸锂晶体;将晶体的b轴两侧镀上镍电极;将得到的晶体放入光路中,c轴沿z方向,通光方向沿x方向;在晶体的通光轴另一端放一起偏器;在晶体b轴两侧外接一电压,在晶体内部y方向提供稳恒电场,使线偏振光来回通过晶体一次后偏振面旋转90°,即偏振方向与起偏器垂直,从而达到光隔离的目的。

    基于周期性极化铌酸锂的倍频的增强方法

    公开(公告)号:CN103605248A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201310597494.1

    申请日:2013-11-22

    IPC分类号: G02F1/37

    摘要: 一种光信息处理技术领域的基于周期性极化铌酸锂的倍频的增强方法,首先对铌酸锂晶体进行室温电场极化,在晶体的+Z面上负畴区域改变电畴极化方向,在晶体的Y向两侧进行真空镀膜溅射电极;然后对晶体进行寻常光照射的同时用高压源给铌酸锂晶体的Y向两侧加电压,通过产生的慢光效应实现寻常光倍频的增强。本发明首创将准相位匹配的技术(QPM)和慢光效应所引起的有效光功率的增大结合起来。

    利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置及方法

    公开(公告)号:CN103233208A

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201310146298.2

    申请日:2013-04-24

    IPC分类号: C23C14/46

    摘要: 本发明提供了一种利用离子束溅射法制备微纳米结构薄膜的装置和方法,该装置包括离子束溅射装置和准直过滤装置,准直过滤装置与离子束溅射装置的样品架连接,准直过滤装置包括:圆盘、若干过滤网和多个圆环,圆盘的下表面与样品架连接,各圆环依次重叠设置在圆盘上表面,过滤网设置在各圆环之间。本发明能够有效提高微纳米结构薄膜的质量,在纳米集成回路领域具有重要的应用价值。