公开(公告)号：CN119956294A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510029947.3

申请日：2025-01-08

Applicant: 上海卫星工程研究所

Inventor： 肖英俊 ,  缪洪康 ,  张彧 ,  徐涛 ,  马瑶龙 ,  崔蕾

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  B64G1/58

Abstract: 本发明公开了一种高空间稳定性、低相变温度的二氧化钒基夹心结构热控薄膜及其制备方法；该二氧化钒基对称夹心结构热控薄膜为在基底表面依次溅射无机物功能层、二氧化钒层、无机物功能层而制备，其中两层无机物功能层物理化学特性相同、具有增透减反功能并可有效保护二氧化钒夹心层免受太空环境影响，同时底层和顶层无机物功能层通过诱导二氧化钒层沉积过程结晶形态变化而实现降低二氧化钒相变温度。本发明制得的二氧化钒基对称夹心结构热控薄膜1~2.2 μm波长范围内红外辐射率调节>0.40、相变温度为36~45 ℃、空间稳定性高、制备条件简单且制备参数易于控制，故本发明所述热控薄膜在航天热控领域具有较高的应用潜力。

公开(公告)号：CN119956306A

公开(公告)日：2025-05-09

申请号：CN202510029028.6

申请日：2025-01-08

Applicant: 上海卫星工程研究所

Inventor： 肖英俊 ,  陈辉 ,  张彧 ,  徐涛 ,  缪洪康 ,  马瑶龙 ,  崔蕾 ,  童仲秋

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/58 ,  C23C14/08 ,  C30B1/02 ,  C30B29/16 ,  B64G1/58

Abstract: 本发明涉及一种热处理氮化钒制备二氧化钒柔性智能热控器件的方法。本发明的制备方法包括采用磁控溅射和低温热处理氧化，在聚合物薄膜、硅片等材质的基底表面溅射氮化钒薄膜，进而将氮化钒薄膜转移到低压、含氧气氛腔体中进行加热氧化处理，将氮化钒薄膜转换为二氧化钒薄膜，形成智能热控器件。本发明所述方法核心为热处理氮化钒薄膜制备二氧化钒薄膜技术，优点是智能热控器件制备全周期所采用温度均不高于400℃，故本发明所述方法可在聚合物基底表面制备二氧化钒，且氮化钒转换为二氧化钒的热处理条件简单并易于控制。本发明适用于制备二氧化钒柔性智能热控器件。