公开(公告)号：CN105624630A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610177508.8

申请日：2016-03-26

Applicant: 上海大学

Inventor： 高彦峰 ,  万冬云 ,  刘恒武 ,  石翔

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/08 ,  C23C14/18 ,  C23C14/58

CPC classification number: C23C14/35 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/083 ,  C23C14/185 ,  C23C14/5806

Abstract: 本发明提供一种VOx/M/VOx三明治结构薄膜制备VO2的方法。可制备得到非制冷焦平面红外探测器用的高性能B相结构VO2薄膜和智能窗用的M相VO2薄膜。随着中间金属层溅射时间的增长，薄膜展现了B相到M相的相变，室温和80℃红外区域透过率的差值达到30%以上，并且TCR(负电阻温度系数)从-2%/K增加到了-5%/K,室温方块电阻从70kΩ/□减小到了10kΩ/□。制备的薄膜的性能可以满足非制冷焦平面和智能窗等不同领域的应用。