公开(公告)号：CN119947271A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202411911435.1

申请日：2024-12-24

Applicant: 上海大学

Inventor： 钱智超 ,  张巍 ,  黄浩斐 ,  王露露 ,  丁可可 ,  周海川 ,  唐可 ,  黄健 ,  王林军

IPC: H10F30/222 ,  H10F77/20 ,  H10F71/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/04 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明涉及一种全透明氧化镍/氧化镓PN结型日盲紫外探测器及其制备方法与应用，所述日盲紫外探测器自下而上依次包括柔性衬底、底电极层、NiO薄膜层、Ga2O3薄膜层、上电极层，所述底电极层、NiO薄膜层、Ga2O3薄膜层、上电极层呈阶梯状设置，所述柔性衬底包括PET柔性衬底，所述的底电极层和上电极层均为BGZO电极层。本发明采用磁控溅射法，在透明衬底上生长电极，并选择适当的溅射功率，实现高性能全透明氧化镍与氧化镓薄膜的制备。与现有技术相比，本发明得到的日盲紫外探测器具有自供电、全透明、柔性性能，具有便携可穿戴的特点，能够更好地应用在紫外探测等领域。