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公开(公告)号：CN114166899B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202111406436.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 上海大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域，具体地说是一种基于PdRh负载SnO2多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法，水热法制备碳球模板，硬模板法制备SnO2多壳层空心球，PdRh负载SnO2多壳层空心球的制备，将制备的材料放入研钵中，滴入黏合剂研磨5～10min，得到粘稠状的浆料涂覆在带有Pt叉指电极底上，烘干后将得到的MEMS器件放置在带有加热和测试电极的底座上在在1.5V电压下老化24～72h，本发明同现有技术相比，采用PdRh双金属对SnO2多壳层空心球进行改性，制备出气敏性能一致性好的低功耗MEMS甲醛气体传感器，提高传感器的响应、反应速度与灵敏度，能够检测到ppb级别的甲醛浓度。
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公开(公告)号：CN114166899A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111406436.7
申请日：2021-11-24
Applicant: 上海大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及气体传感器技术领域，具体地说是一种基于PdRh负载SnO2多壳层结构的甲醛MEMS气体传感器及其制备方法，水热法制备碳球模板，硬模板法制备SnO2多壳层空心球，PdRh负载SnO2多壳层空心球的制备，将制备的材料放入研钵中，滴入黏合剂研磨5～10min，得到粘稠状的浆料涂覆在带有Pt叉指电极底上，烘干后将得到的MEMS器件放置在带有加热和测试电极的底座上在在1.5V电压下老化24～72h，本发明同现有技术相比，采用PdRh双金属对SnO2多壳层空心球进行改性，制备出气敏性能一致性好的低功耗MEMS甲醛气体传感器，提高传感器的响应、反应速度与灵敏度，能够检测到ppb级别的甲醛浓度。
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公开(公告)号：CN114166898A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111394195.9
申请日：2021-11-23
Applicant: 上海大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及氢气传感器技术领域，具体地说是一种非晶贵金属RuOx/ZnOMEMS氢气传感器的制备方法，首先合成非晶贵金属RuOx，通过自组装复合到了ZnO纳米片上，调控RuOx的量合成含有不同分数非晶贵金属RuOx气敏材料，将材料和乙醇在玛瑙研钵中混合糊状并涂在Pt电极上，干燥后得到电阻型传感器MEMS传感器，将传感器放置在带有加热电极和测试电极的底座上，加热电压为1.5V，持续24小时，本发明同现有技术相比，使用RuOx自组装对ZnO表面进行改性，用少量RuOx改性ZnO后，传感器对氢气显示出很高的响应值以及超低的检测限(低至1ppm)，制造新型高效气体传感器方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN116947090A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310967788.2
申请日：2023-08-02
Applicant: 上海大学
IPC: C01G15/00 , C01G55/00 , G01N27/407
Abstract: 本发明公开了一种铑钯双金属非晶黑色氧化铟复合材料及其制备方法和在传感器中的应用，本发明提出的复合材料由铑钯双金属非晶(RhPdOx)和黑色氧化铟(B‑In2O3)两种纳米颗粒组成；其中RhPdOx纳米颗粒由液相法得到，B‑In2O3纳米颗粒由液相法和固相法得到，利用RhPdOx纳米颗粒对B‑In2O3材料修饰，通过物理混合得到两者的复合材料。本发明对NO2具有高选择性，可用于检测汽车尾气与人体呼出气中的NO2；检测限最低可达0.2ppm；并且响应值快，响应/恢复时间可达4s/8s，具有良好的应用前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112142093B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN202011006834.5
申请日：2020-09-17
Applicant: 上海大学 , 上海摇橹仪器设备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种负载Pd的棱状氧化锌及其制备方法和应用，在棱状氧化锌表面负载有Pd团簇或Pd‑NPs。本发明对甲烷检测限低，可以检测到1ppm的甲烷；而且对甲烷具备高选择性，可以检测肠道易激综合征、急性心肌梗塞等疾病；通过棱状氧化锌的负载提高了Pd的利用率，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN114166898B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111394195.9
申请日：2021-11-23
Applicant: 上海大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及氢气传感器技术领域，具体地说是一种非晶贵金属RuOx/ZnOMEMS氢气传感器的制备方法，首先合成非晶贵金属RuOx，通过自组装复合到了ZnO纳米片上，调控RuOx的量合成含有不同分数非晶贵金属RuOx气敏材料，将材料和乙醇在玛瑙研钵中混合糊状并涂在Pt电极上，干燥后得到电阻型传感器MEMS传感器，将传感器放置在带有加热电极和测试电极的底座上，加热电压为1.5V，持续24小时，本发明同现有技术相比，使用RuOx自组装对ZnO表面进行改性，用少量RuOx改性ZnO后，传感器对氢气显示出很高的响应值以及超低的检测限(低至1ppm)，制造新型高效气体传感器方面具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN115616038A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211035954.7
申请日：2022-08-27
Applicant: 上海大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS器件阵列智能补偿的气体检测芯片，包括气体传感器、温湿度传感器一、排阻一、温湿度传感器二、排阻二和接口，所述气体传感器共设置有16个。本发明，通过接入VCC、VDD、GND使芯片正常工作，芯片将感知到的信息传输给MCU(微控制单元)或计算机，便可实现气体传感器阵列对相应气体的采集以及温湿度的采集，得到多点待测目标气体、类似气体以及两个实时温湿度的数值。
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公开(公告)号：CN112142093A
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN202011006834.5
申请日：2020-09-17
Applicant: 上海大学 , 上海摇橹仪器设备有限公司
Abstract: 本发明提供了一种负载Pd的棱状氧化锌及其制备方法和应用，在棱状氧化锌表面负载有Pd团簇或Pd‑NPs。本发明对甲烷检测限低，可以检测到1ppm的甲烷；而且对甲烷具备高选择性，可以检测肠道易激综合征、急性心肌梗塞等疾病；通过棱状氧化锌的负载提高了Pd的利用率，具有良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN112326741A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011006833.0
申请日：2020-09-17
Applicant: 上海大学 , 上海摇橹仪器设备有限公司
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供了一种MEMS糖尿病呼出气检测传感器及其制备方法和应用，所用气敏材料为在片状氧化钨表面负载Au单原子。本发明对丙酮检测限低，可以检测到0.1ppm的丙酮；而且对丙酮具备高选择性，可以检测糖尿病情况；MEMS传感器灵敏度高，易于集成和智能化，具有良好的应用前景。
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