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公开(公告)号：CN117821942A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410014888.8
申请日：2024-01-04
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52
摘要： 本公开涉及一种模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统，涉及化工工程技术领域。其中，所述旋转进气模具的设计方法，包括：在模具主体的反应室内一侧设置不可旋转的底盘；将所述不可旋转的底盘与至少2个支撑轴的一端连接，将所述至少2个支撑轴分别通过对应的支撑主体另一端与模具主体连接；在所述不可旋转的底盘相对侧的所述模具主体的反应室内设置有可转动的旋转进气装置，并将所述旋转进气装置与所述模具主体外侧的进气管路连接。本公开实施例可实现提高化学气相沉积过程的效率和可控性。
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公开(公告)号：CN117890291A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410073283.6
申请日：2024-01-18
摘要： 本发明提供了一种硅蒸汽腐蚀测试用装置及测试方法，该测试装置包括容置具、凸台和导气网；容置具包括容置具本体和用于密封容置具本体的密封盖；凸台由所述容置具本体的内壁向中心方向凸出，且沿同一水平线至少凸出有两个；导气网置于容置具本体内，设置有若干个网孔，且放置在同一水平线的两个凸台的表面；导气网用于放置待测试的样品。本发明提供的测试装置，专用于利用硅蒸汽进行抗腐蚀性测试中，相比于常规悬垂法用容具，本发明对装置重新进行设计，同时提供了一种新的对应测试方法，有效解决了目前悬垂法无法保证测试条件的一致性，往往导致评价结果不准确的问题。
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公开(公告)号：CN118327945A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410571626.1
申请日：2024-05-10
摘要： 本公开涉及一种蠕动泵、控制方法及装置、设备、存储介质和程序产品，涉及蠕动泵技术领域。其中，所述的蠕动泵控制方法，包括：获取蠕动泵的中间泵壳内泵管对应的工作状态；若所述工作状态为漏液状态，控制所述蠕动泵停止工作及保持与所述中间泵壳两侧连接的上泵壳及下泵壳的锁定状态，同时解除所述中间泵壳的锁定状态，控制所述中间泵壳沿着与所述中间泵壳、所述上泵壳及所述下泵壳连接的转轴进行转动。本公开实施例可实现安装泵管的外部泵壳快速拆卸。
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公开(公告)号：CN117823727A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410015600.9
申请日：2024-01-04
摘要： 本申请公开了一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵，所述蠕动甭管，包括泵管本体，所述泵管本体为双层软管，所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂；所述蠕动泵管的泵管内层采用耐腐蚀材料，能够抵抗MTS等腐蚀性化学品的侵蚀，有效避免泵管的腐蚀泄漏，泵管外层则对泵管内层提供额外的机械强度和保护，不仅提高了泵管对MTS等腐蚀性化学品的耐腐蚀性，还能在泵管内层破裂时防止化学品泄漏到环境中，进一步降低化学品泄漏风险；本公开的蠕动泵采用了所述耐腐蚀泵管，有效解决由MTS腐蚀引起的安全、环保等问题，为CVD‑SiC制备提供可靠和环保的MTS输送方案。
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