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公开(公告)号：CN117947520A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410113065.0
申请日：2024-01-26
摘要： 本发明公开一种以粉末氧化镓为原料化学气相沉积制备块体氮化镓的方法，该方法使用通过施加应力而组合的氧化镓粉末，经过化学气相沉积制备氮化镓，并利用多层石英片作为衬底，制备易于剥离的氮化镓。本发明从镓源出发，从源头上降低GaN制备成本，同时提高了GaN生产效率。
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公开(公告)号：CN117890291A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410073283.6
申请日：2024-01-18
摘要： 本发明提供了一种硅蒸汽腐蚀测试用装置及测试方法，该测试装置包括容置具、凸台和导气网；容置具包括容置具本体和用于密封容置具本体的密封盖；凸台由所述容置具本体的内壁向中心方向凸出，且沿同一水平线至少凸出有两个；导气网置于容置具本体内，设置有若干个网孔，且放置在同一水平线的两个凸台的表面；导气网用于放置待测试的样品。本发明提供的测试装置，专用于利用硅蒸汽进行抗腐蚀性测试中，相比于常规悬垂法用容具，本发明对装置重新进行设计，同时提供了一种新的对应测试方法，有效解决了目前悬垂法无法保证测试条件的一致性，往往导致评价结果不准确的问题。
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公开(公告)号：CN117823727A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410015600.9
申请日：2024-01-04
摘要： 本申请公开了一种耐腐蚀蠕动泵管及用于化学气相沉积炉的蠕动泵，所述蠕动甭管，包括泵管本体，所述泵管本体为双层软管，所述双层软管的内层材质是弹性耐腐蚀树脂；所述蠕动泵管的泵管内层采用耐腐蚀材料，能够抵抗MTS等腐蚀性化学品的侵蚀，有效避免泵管的腐蚀泄漏，泵管外层则对泵管内层提供额外的机械强度和保护，不仅提高了泵管对MTS等腐蚀性化学品的耐腐蚀性，还能在泵管内层破裂时防止化学品泄漏到环境中，进一步降低化学品泄漏风险；本公开的蠕动泵采用了所述耐腐蚀泵管，有效解决由MTS腐蚀引起的安全、环保等问题，为CVD‑SiC制备提供可靠和环保的MTS输送方案。
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公开(公告)号：CN116752119A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310683067.9
申请日：2023-06-09
摘要： 本发明提供了一种基于化学气相沉积炉的保温套件及组装方法，包括至少两个保温组件，所述保温组件之间连接形成环形结构；其中，所述保温组件包括第一保温块和第二保温块；第一保温块包括第一支撑部和突出于所述第一支撑部的第一凸起；第二保温块设置有与所述第一凸起匹配连接的第一凹陷。相比于现有技术，本发明提供的保温套件，通过上述结构进行叠加组装，克服了只能依靠人工操作手法来保证更换后保温层的质量问题，有效解决了目前化学气相沉积炉的保温材料更换繁琐且更换后易出现温度分布不均匀的问题，保证了产品质量的一致性。
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公开(公告)号：CN116531866A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310688701.8
申请日：2023-06-12
摘要： 本发明提供了一种尾气处理系统和尾气处理方法，处理系统包括第一过滤器和与所述第一过滤器连通的第二过滤器，所述第一过滤器填充有吸附材料，所述第二过滤器设置有第一空气滤芯；待处理尾气经过所述第一过滤器处理后进入所述第二过滤器再处理。相比于常规的单级过滤处理，本发明的尾气处理系统采用至少两层过滤处理，可大大提高过滤效果，可使抽气泵至少稳定运行72小时不发生堵塞。
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公开(公告)号：CN118327945A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410571626.1
申请日：2024-05-10
摘要： 本公开涉及一种蠕动泵、控制方法及装置、设备、存储介质和程序产品，涉及蠕动泵技术领域。其中，所述的蠕动泵控制方法，包括：获取蠕动泵的中间泵壳内泵管对应的工作状态；若所述工作状态为漏液状态，控制所述蠕动泵停止工作及保持与所述中间泵壳两侧连接的上泵壳及下泵壳的锁定状态，同时解除所述中间泵壳的锁定状态，控制所述中间泵壳沿着与所述中间泵壳、所述上泵壳及所述下泵壳连接的转轴进行转动。本公开实施例可实现安装泵管的外部泵壳快速拆卸。
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公开(公告)号：CN117888090A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311839197.3
申请日：2023-12-28
IPC分类号： C23C16/505 , C23C16/511 , C23C16/02 , C23C16/34 , B05D7/22 , B05D7/24
摘要： 本发明公开一种减少杂质的高纯石墨坩埚制备方法，主要通过在现有免烧结喷涂SiC/Si3N4复合涂层坩埚基础上增加了短时低温的PECVD工序，在疏松的氮化硅外层表面制备出一层薄且致密的膜，在保证良好隔温与脱模效果的前提下，有效减少疏松喷涂氮化硅外层颗粒的脱落对硅晶铸锭的影响，提高了产品良率。
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公开(公告)号：CN117888081A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311839201.6
申请日：2023-12-28
摘要： 本发明公开一种连续式制备碳化硅纳米线增强碳化硅涂层的方法，旨在基于化学气相沉积的方法，对制备碳化硅纳米线增韧碳化硅涂层的方法进行改进，在减少工艺步骤的条件下，制备出理想的碳化硅涂层。
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公开(公告)号：CN117821942A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410014888.8
申请日：2024-01-04
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52
摘要： 本公开涉及一种模具控制方法及装置、旋转进气模具和化学气相沉积系统，涉及化工工程技术领域。其中，所述旋转进气模具的设计方法，包括：在模具主体的反应室内一侧设置不可旋转的底盘；将所述不可旋转的底盘与至少2个支撑轴的一端连接，将所述至少2个支撑轴分别通过对应的支撑主体另一端与模具主体连接；在所述不可旋转的底盘相对侧的所述模具主体的反应室内设置有可转动的旋转进气装置，并将所述旋转进气装置与所述模具主体外侧的进气管路连接。本公开实施例可实现提高化学气相沉积过程的效率和可控性。
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公开(公告)号：CN221452112U
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202323312116.2
申请日：2023-12-05
摘要： 本实用新型公开了一种含粉末尾气的处理装置，包括进气口、罐体、第一过滤系统、第二过滤系统和出气口，所述进气口和出气口设置于罐体上，所述第一过滤系统和第二过滤系统连通并设置于所述罐体内，所述进气口与第一过滤系统连通，所述出气口与第二过滤系统连通，含粉末尾气通过进气口再分别经第一过滤系统和第二过滤系统后从出气口排出。本实用新型采用高落差的双重过滤系统，大大提高了尾气过滤效果。
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