压差式气体微流量传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN108254031A

    公开(公告)日:2018-07-06

    申请号:CN201711462917.3

    申请日:2017-12-28

    发明人: 宋芳

    IPC分类号: G01F1/36 G01F1/44

    CPC分类号: G01F1/36 G01F1/44

    摘要: 本发明涉及一种压差式气体微流量传感器,包括一单晶硅基片及集成于该单晶硅基片同一面上的一个气体微沟道及两个压力传感器;气体微沟道沿 晶向埋设于单晶硅基片内,由文丘里沟道段和连接在文丘里沟道段两端的匀速沟道段组成,文丘里沟道段由喉道和分别位于喉道两端的收缩段和扩散段组成,气体微沟道的两端设有气体出/入口;两个压力传感器分别通过取压通道与匀速沟道段和喉道连接。与现有技术相比,本发明将传统宏观的文丘里管引入到硅基MEMS微流量传感器领域,实现了微流量气体的快速、准确的检测和芯片小尺寸、低成本和便捷式封装等特点,具有广泛应用前景。

    一种基于文件条形码的印章使用监控方法

    公开(公告)号:CN104318390A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201410577406.6

    申请日:2014-10-24

    发明人: 刘燕 张帆 宋芳

    IPC分类号: G06Q10/06 G06F17/30 G06K19/06

    CPC分类号: G06Q10/103 G06F21/10

    摘要: 本发明涉及一种基于文件条形码的印章使用监控方法,该方法包括以下步骤:1)建立用于印章使用监控的数据库;2)盖章申请人提交盖章申请并上传申请信息至数据库;3)系统生成条形码,并将条形码插入到文件需要盖章的位置,保存修改后的文件至数据库中;4)对盖章信息进行审核,若通过,则执行步骤5);5)智能移动印章扫描条形码并在对应条码处盖章,并将盖章处拍照上传至数据库中。与现有技术相比,本发明具有传输数据量小、高效轻便等优点。

    微创手术器械的触觉反馈系统

    公开(公告)号:CN104274244A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201310279281.4

    申请日:2013-07-04

    IPC分类号: A61B19/00

    摘要: 一种微创手术器械的触觉反馈系统,包括微创手术器械的细长杆和与之相连的末端执行器,以及第一弹性装置、具有柔顺变形能力的连接件、第二弹性装置、第一对滚轮组、第二对滚轮组、指示件、测量元件和电脑控制系统。由安装在微创手术器械细长杆内的测量元件可以读出指示件的位置,电脑控制系统读取测量元件的读数,转化并判断出施加在末端执行器内侧的力的大小。本发明具有结构简单,灵敏度高、成本低廉的优点。

    一种自调节流速减缓器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103953817A

    公开(公告)日:2014-07-30

    申请号:CN201410133303.0

    申请日:2014-04-03

    IPC分类号: F16L55/02

    CPC分类号: F16L55/02

    摘要: 本发明涉及一种自调节流速减缓器,该流速减缓器包括减速机构及与减速机构配套使用的壳体及端盖,减速机构由扇形连接架及堵块组成,扇形连接架3个叶片互成120°夹角,连接架的中心经滚动轴承连接在壳体内并在壳体内自由转动,堵块呈圆弧形,连接在扇形连接架的末端,与壳体的内侧形状相吻合。与现有技术相比,本发明在水流的作用下,堵块通过转动,每转过120°就将进口封堵一次,当流速增大时,相应的堵块4转动角速度随之增大,堵块把进口堵住的频率也随之增大,最后流速和角速度达到一个平衡。

    用于虚轴机床和机器人的三转动并联机构

    公开(公告)号:CN101954593B

    公开(公告)日:2012-06-13

    申请号:CN201010274735.5

    申请日:2010-09-07

    IPC分类号: B23Q1/25 B25J9/08

    摘要: 本发明提供了一种用于虚轴机床和机器人的三转动并联机构,它由机架、动平台以及连接在机架与动平台之间的第一运动支链,第二运动支链和第三运动支链组成。其中的第一运动支链包括顺序相连的第一万向铰链、第一移动副和第二万向铰链,第二运动支链包括顺序相连的第三万向铰链、第二移动副和第四万向铰链,第三运动支链包括顺序相连的转动副和第五万向铰链。本发明具有解耦的三个转动自由度,转动自由度仅依赖运动支链的运动副的线性控制,实现原理非常简单,具有非常好的线性关系。

    用于虚轴机床和机器人的三转动自由度并联机构

    公开(公告)号:CN102145457A

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN201110036016.4

    申请日:2011-02-11

    发明人: 张帆 刘燕 宋芳

    IPC分类号: B23Q1/26 B25J9/08

    摘要: 本发明提供了一种用于虚轴机床和机器人的三转动自由度并联机构,它包括静平台、动平台以及连接在静平台与动平台之间的第一运动支链、第二运动支链和第三运动支链。第一运动支链包括顺序相连的第一万向铰链、第一移动副、第一转动副和第二转动副;第一转动副通过第一连接杆与第二转动副相连。第二运动支链包括顺序相连的第三转动副、第二移动副和第二万向铰链;第二万向铰链还通过第二连接杆与第一连接杆相连。第三运动支链包括顺序相连的第四转动副、第五转动副和第六转动副。本发明具有解耦的三个转动自由度,转动自由度仅依赖运动支链的运动副的线性控制,实现原理非常简单,具有非常好的线性关系。

    解耦的三转动并联机构
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101934521A

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN201010274733.6

    申请日:2010-09-07

    IPC分类号: B25J9/08 B23Q1/44

    摘要: 本发明提供了一种解耦的三转动并联机构,它由机架、动平台以及连接在机架与动平台之间的第一运动支链,第二运动支链和第三运动支链组成。其中的第一运动支链包括顺序相连的第一万向铰链、第一移动副和第二万向铰链;第二运动支链包括顺序相连的第一球铰链、第二移动副和第二球铰链;第三运动支链包括顺序相连的转动副和第三万向铰链。本发明具有解耦的三个转动自由度,转动自由度仅依赖运动支链的运动副的线性控制,实现原理非常简单,具有非常好的线性关系。

    可弯曲微型手腕
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104139398B

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201310172894.8

    申请日:2013-05-10

    发明人: 张帆 刘燕 宋芳

    IPC分类号: B25J17/02

    摘要: 一种可弯曲微型手腕,包括第一末端执行器、第二末端执行器、第一级套筒、第二级套筒、第一运动支链、第二运动支链和第三运动支链;第一末端执行器和第二末端执行器组合成夹钳或抓爪并分别与第一级套筒可转动相连;第二级套筒与第一级套筒可转动相连;第一运动支链与第一末端执行器传动相连,第二运动支链与第二末端执行器传动相连,第三运动支链与第一级套筒传动相连;第一运动支链和第二运动支链的组合运动带动所述夹钳或抓爪的张开或闭合;第三运动支链的运动带动第一级套筒作俯仰摆动。本发明可弯曲微型手腕具有开合、弯曲自由度,能模仿人手实现灵巧动作,且结构简单,承载能力强。

    可弯曲微型手腕
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104139398A

    公开(公告)日:2014-11-12

    申请号:CN201310172894.8

    申请日:2013-05-10

    发明人: 张帆 刘燕 宋芳

    IPC分类号: B25J17/02

    摘要: 一种可弯曲微型手腕,包括第一末端执行器、第二末端执行器、第一级套筒、第二级套筒、第一运动支链、第二运动支链和第三运动支链;第一末端执行器和第二末端执行器组合成夹钳或抓爪并分别与第一级套筒可转动相连;第二级套筒与第一级套筒可转动相连;第一运动支链与第一末端执行器传动相连,第二运动支链与第二末端执行器传动相连,第三运动支链与第一级套筒传动相连;第一运动支链和第二运动支链的组合运动带动所述夹钳或抓爪的张开或闭合;第三运动支链的运动带动第一级套筒作俯仰摆动。本发明可弯曲微型手腕具有开合、弯曲自由度,能模仿人手实现灵巧动作,且结构简单,承载能力强。

    带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法

    公开(公告)号:CN103241701A

    公开(公告)日:2013-08-14

    申请号:CN201210023814.8

    申请日:2012-02-03

    发明人: 宋芳

    IPC分类号: B81B3/00 B81C1/00

    摘要: 本发明涉及带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法,该定位平台包括单晶硅基片和玻璃基片,单晶硅基片上设有载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链,载物台位于单晶硅基片的中央并可三自由度运动,载物台通过柔性铰链依次连接柔性支撑梁、折叠梁、静电梳齿致动器和检测梁,检测梁上集成有位移检测传感器,玻璃基片上设有与静电梳齿致动器连接的致动器驱动电极,单晶硅基片上的载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链采用体硅工艺在同一硅片上一体化加工形成。与现有技术相比,本发明集结构、驱动和位移检测于一体可实现各运动方向位移实时检测和控制,定位精度高。