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    优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法
    2.
    发明授权
    优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法 有权

    公开(公告)号：CN108133977B

    公开(公告)日：2019-08-16

    申请号：CN201711131881.0

    申请日：2017-11-15

    申请人： 上海微波技术研究所(中国电子科技集团公司第五十研究所)

    发明人： 王晓东 ,  王兵兵 ,  陈雨璐 ,  张传胜 ,  张皓星 ,  周德亮 ,  侯丽伟 ,  俞旭辉

    IPC分类号： H01L31/09 ,  H01L31/18 ,  H01L31/0224

    CPC分类号： Y02P70/521

    摘要： 本发明提供的一种优化阻挡杂质带探测器工作温度的方法，包括如下步骤：将阻挡杂质带探测器封装至恒温器中；测得不同工作温度下阻挡杂质带探测器的背景电流IBG随正电极偏压U变化的曲线，并确定探测器的击穿电压UBD；获取背景电流IBG随阻挡杂质带探测器的工作温度T变化的曲线IBG(T)；测量得到不同工作温度下阻挡杂质带探测器的黑体响应电流IBB随正电极偏压U变化的曲线；获取黑体响应电流IBB随阻挡杂质带探测器工作温度T变化的曲线IBB(T)；根据探测器优值因子随探测器工作温度变化的曲线确定最佳工作温度。本发明对制备的阻挡杂质带探测器进行数据采集及数据处理得到最佳工作温度，进而根据优化后的结果设置阻挡杂质带探测器的工作温度，性能将具有最优值。